集氣罩:根據(jù)前處理設(shè)備形狀、廢氣散發(fā)特點定制,如槽邊側(cè)向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見材質(zhì)有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風(fēng)管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質(zhì),用于連接抽風(fēng)設(shè)備各部件,將廢氣輸送至處理設(shè)備,其設(shè)計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風(fēng)機:常安裝在輸送通道出風(fēng)口處,為廢氣的抽取和輸送提供動力 ,可根據(jù)實際需求選擇不同規(guī)格和性能的引風(fēng)機。
此外,一些抽風(fēng)裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網(wǎng)板等,用于對廢氣進行初步過濾、吸附,減少大顆粒雜質(zhì)等對風(fēng)機的損害 。 安全防護設(shè)備包括防腐內(nèi)襯、漏電保護裝置及應(yīng)急沖洗設(shè)施,降低藥液泄漏與觸電風(fēng)險。深圳國產(chǎn)電鍍設(shè)備
是一種于半導(dǎo)體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備,主要用于在半導(dǎo)體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學(xué)或化學(xué)鍍工藝,實現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求
與傳統(tǒng)滾鍍不同,半導(dǎo)體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導(dǎo)體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導(dǎo)線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質(zhì):耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環(huán)系統(tǒng):維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質(zhì)
2.旋轉(zhuǎn)載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速控制:通過伺服電機調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,優(yōu)化鍍層均勻性
3.陽極系統(tǒng):
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調(diào)節(jié):控制電場分布,減少邊緣效應(yīng)
4.供液與噴淋系統(tǒng):
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調(diào)節(jié)鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統(tǒng):
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數(shù) 深圳國產(chǎn)電鍍設(shè)備鍍鉻設(shè)備需配置鉛合金陽極與陽極袋,防止雜質(zhì)污染電解液,確保硬鉻鍍層的高硬度與耐磨性。
電鍍自動線是通過自動化設(shè)備實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)的電鍍系統(tǒng),主要類型及特點如下:
主流自動線類型
1.龍門式自動線
結(jié)構(gòu):多工位龍門機械手驅(qū)動,PLC控制
特點:精度高(±0.1mm),適用于精密件(如汽車部件、電子接插件)
產(chǎn)能:單線日處理量可達5000-10000件
2.環(huán)形垂直升降線
結(jié)構(gòu):環(huán)形軌道+升降機,連續(xù)循環(huán)作業(yè)
特點:節(jié)拍快(20-40秒/掛),適合中小型工件(如五金件、衛(wèi)浴配件)
優(yōu)勢:占地小,能耗低(節(jié)電30%以上)
3.滾鍍自動線
結(jié)構(gòu):六角滾筒+變頻驅(qū)動,批量處理小型零件(螺絲、紐扣)
參數(shù):滾筒轉(zhuǎn)速3-10rpm,裝載量50-200kg/批
鍍層均勻性:±15%,效率達8㎡/h
4.連續(xù)電鍍線
類型:帶材/線材電鍍(如PCB銅箔、銅線)
技術(shù):張力控制+多槽串聯(lián),速度可達10-30m/min
精度:鍍層厚度偏差<5%
5.機器人電鍍線
配置:六軸機器人+視覺定位
系統(tǒng)應(yīng)用:復(fù)雜曲面工件(汽車輪轂、航空部件)
優(yōu)勢:柔性生產(chǎn),支持多品種切換
應(yīng)用領(lǐng)域
汽車:鍍鋅螺栓、輪轂鍍鉻
電子:PCB微孔鍍銅、連接器鍍金
五金:衛(wèi)浴配件鍍鎳、鎖具鍍鋅
1.鍍銅液方面
酸性鍍銅液導(dǎo)電性強、分散性佳,能快速鍍厚銅,常用于電子元件底層鍍銅;
堿性鍍銅液穩(wěn)定性好,腐蝕性小,所得銅層結(jié)晶細(xì)、結(jié)合力強,適用于鋼鐵基體打底。
2.鍍鎳液
瓦特鎳鍍液成分簡單、易維護,鍍層光亮耐磨,在防護裝飾性電鍍中廣泛應(yīng)用;
氨基磺酸鎳鍍液分散與深鍍能力優(yōu),鍍層內(nèi)應(yīng)力低、延展性好,多用于對鍍層質(zhì)量要求高的電子、航天領(lǐng)域。
3.鍍鋅液里
堿性鍍鋅液陰極極化作用強,鋅層耐腐蝕性好;
酸性鍍鋅液電流效率高、沉積快,外觀光亮,不過腐蝕性強。
4.鍍金液
有物鍍金液,鍍層均勻光亮、硬度高;
無氰鍍金液則更環(huán)保。
5.鍍銀液
物鍍銀液電鍍性能好,鍍層導(dǎo)電導(dǎo)熱優(yōu);
硫代硫酸鹽鍍銀液毒性小、更環(huán)保。選擇鍍液要綜合零件材質(zhì)、形狀、使用環(huán)境及實驗?zāi)康牡?,兼顧成本與環(huán)保。
在選擇鍍液時,需要根據(jù)待鍍零件的材質(zhì)、形狀、尺寸、使用環(huán)境以及實驗?zāi)康牡纫蛩剡M行綜合考慮,同時還需考慮鍍液的成本、環(huán)保性和操作難度等因素。 模塊化電鍍設(shè)備支持槽體自由組合,可快速切換掛鍍、滾鍍模式,靈活適配多品種小批量生產(chǎn)需求。
廢氣處理設(shè)備是電鍍設(shè)備不可或缺的配套設(shè)施,在電鍍生產(chǎn)過程中發(fā)揮著重要作用,具體關(guān)系如下:
電鍍過程中會產(chǎn)生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進行處理,這些廢氣會彌漫在車間內(nèi),不僅會對操作人員的身體健康造成嚴(yán)重危害。廢氣處理設(shè)備通過收集和凈化這些有害廢氣,能將車間內(nèi)的空氣質(zhì)量維持在安全標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi),同時確保排放到大氣中的廢氣符合環(huán)保要求,從而保護環(huán)境和人員健康。
電鍍車間內(nèi)的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性,長期暴露在這些廢氣中,電鍍設(shè)備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會被腐蝕,導(dǎo)致設(shè)備的使用壽命縮短,維修成本增加。
廢氣處理設(shè)備有效去除有害廢氣,減少對電鍍設(shè)備的腐蝕,保障電鍍生產(chǎn)的穩(wěn)定進行。
如果車間內(nèi)廢氣彌漫,空氣中的灰塵、雜質(zhì)等容易吸附在待鍍工件表面,影響鍍層與工件的結(jié)合力,導(dǎo)致鍍層出現(xiàn)麻點、、起皮等缺陷,降低電鍍產(chǎn)品的質(zhì)量和良品率。廢氣處理設(shè)備有助于保持車間內(nèi)空氣的清潔,減少空氣中雜質(zhì)對鍍件的污染
隨著環(huán)保法規(guī)的日益嚴(yán)格,電鍍企業(yè)必須確保其生產(chǎn)過程中的廢氣排放達到國家和地方的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
鍍鉻設(shè)備配置鉛銻合金陽極與陽極袋,過濾陽極泥渣,防止雜質(zhì)污染鍍液,維持硬鉻鍍層高硬度。深圳國產(chǎn)電鍍設(shè)備
攪拌設(shè)備通過空氣鼓泡或機械槳葉驅(qū)動電解液流動,避免濃度分層,提升鍍層均勻性與沉積效率。深圳國產(chǎn)電鍍設(shè)備
對比項 傳統(tǒng)滾鍍 半導(dǎo)體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導(dǎo)體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業(yè)環(huán)境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調(diào) 實時閉環(huán)控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質(zhì))
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環(huán)保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優(yōu)化:通過機器學(xué)習(xí)預(yù)測鍍層缺陷。與CMP(化學(xué)機械拋光)、PVD設(shè)備聯(lián)動,形成全自動金屬化產(chǎn)線
半導(dǎo)體滾鍍設(shè)備是封裝與芯片制造的關(guān)鍵裝備,通過精密旋轉(zhuǎn)與鍍液控制,實現(xiàn)納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術(shù)在于潔凈環(huán)境下的高精度工藝控制 深圳國產(chǎn)電鍍設(shè)備