廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-06-13
一般使用高純氮?dú)饣驓鍤?,氣體純度需符合工藝要求。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可提供氣體使用指導(dǎo)。
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