廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-29

采用多段單獨控溫技術（至多可達 16 段），搭配高精度熱電偶和智能 PID 算法，溫度控制精度達 ±1℃，均勻性≤±2.5℃（空爐測試）。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐配備 3D 熱風循環(huán)系統(tǒng)，通過導流板和風扇轉速動態(tài)調(diào)節(jié)，確保不同高度工位的溫度一致性。

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