HMDS預處理系統(tǒng)的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。  增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。無錫工業(yè)烤箱門把手
恒溫恒濕試驗箱的控制系統(tǒng)可說是整個設備的心臟,掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權。  在制冷方面,壓縮機是采用德國進口的壓縮機。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成,每一部分是一個相對單獨的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化;低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象(試驗機內的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來,它既是高溫部分的冷凝器,也是低溫部分的冷凝器。  加熱系統(tǒng)采用完全單獨的鎳鉻合金電加熱式,電阻率大、電阻溫度系數(shù)小,在高溫下變形小且不易脆化,自身加熱溫度可達1000~1500℃,使用壽命長。  加濕是恒溫恒濕試驗箱不同于高低溫試驗箱的相當主要一部分,恒溫恒濕試驗箱采用外置隔離式,全不銹鋼鍋爐式淺表面蒸發(fā)式加濕器。祛濕方式采用機械制冷祛濕,將空氣冷卻到溫度以下,使大于飽和含濕量的水汽凝結析出,這樣就降低了濕度。  送風循環(huán)系統(tǒng):空氣循環(huán)系統(tǒng)由耐溫低噪音空調型電機,多葉式離心風輪構成。它提供了試驗機內空氣的循環(huán)。大型工業(yè)烤箱工業(yè)烤箱找哪家比較安心?合肥真萍不錯。
下面為大家介紹一下真空干燥箱。它是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。它是利用真空泵進行抽氣抽濕,使工作室內形成真空狀態(tài),降低水的沸點,加快干燥的速度。特點:1、長方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2、雙層玻璃視窗觀察工作室內物體,一目了然。3、箱體閉合松緊能調節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產品經久耐用。5、儲存、加熱、試驗和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進行,所以不會氧化。真空程序分段控制該型號機型,抽真空過程可提供程序化編程,根據(jù)客戶要求編輯設定真空值,保壓時間值??蓪崿F(xiàn)多段抽真空和保壓編程。操作步驟1,接通電源2,產品送入腔體,關門3,打開電源4,工作溫度設定好,啟動加熱,設備進入自動恒溫狀態(tài)5,真空值和時間設定好后,啟動真空泵,開始進入自動抽真空階段6,到達時間值后,真空泵自動關閉
工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)系統(tǒng)由送風馬達、風輪和電熱器組成,在送風機的作用下由進風口送冷風(即外界空氣),經風路系統(tǒng)流入到送風機環(huán)節(jié),送風機再把冷空氣經風輪、蝸殼、等分風系統(tǒng)送風到正在加熱的電熱器上,出來的便是熱風。熱風經過風路系統(tǒng)進入到工業(yè)烤箱內箱體進而形成各路風路,進行水平或垂直等送風到各個角落,從而使各位置點的溫度達到一致,繼而不斷的在工業(yè)烤箱內進行熱風的交替循環(huán),把物體加熱固化。通過數(shù)顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環(huán)送風方式,熱風循環(huán)系統(tǒng)分為水平式和垂直式。上海哪家的工業(yè)烤箱比較好?
工業(yè)烤箱為內外雙層結構,殼體為角鋼薄鋼板,內外雙層殼體之間填充有纖維物質。工業(yè)烤箱使用的纖維物質多為硅酸鋁,它能起到保溫的作用,形成可靠的保溫層。工業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱在工作時,操作人員通過儀表和感溫器來獲得工業(yè)烤箱內部的溫度值,在通過控制系統(tǒng)進行操作。工業(yè)烤箱的熱風循環(huán)加熱方式,與普通的散熱加熱方式相比,有著更好的氣體流動性,能加快工業(yè)烤箱內物料的干燥速度。業(yè)烤箱配置有熱風循環(huán)系統(tǒng)及溫度測量與控制系統(tǒng)。工業(yè)烤箱給社會帶來了什么好處?無錫工業(yè)烤箱門把手
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真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級;10、抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)無錫工業(yè)烤箱門把手
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