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來源: 發(fā)布時間:2025-05-29

探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。測試信號的完整性需要高質量的探針接觸,這與接觸電阻(CRes)直接相關。陜西自動探針臺多少錢

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半導體生產過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當制造完成要進行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進入晶圓探測階段,此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應的晶圓后,探針臺會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進行探測。當測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司四川半自動探針臺機構上海勤確科技有限公司優(yōu)良的服務隊伍、完善的服務網絡及強大的合作伙伴。

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在設備方面,生產半導體測試探針的相關設備價格較高,國內廠商沒有足夠的資金實力,采購日本廠商的設備。另一方面,對于半導體設備而言,產業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)均會采購定制化的設備,客戶提出自身需求和配置,上游設備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),生產出經過優(yōu)化的適合該客戶的設備。因此,即使國產探針廠商想采購日本設備廠商的專業(yè)設備,也只能得到標準化的產品。在原材料方面,國產材質、加工的刀具等也不能達到生產半導體測試探針的要求,同時日本廠商在半導體上游原材料方面占據的優(yōu)勢,其提供給客戶的原材料也是分等級的,包括A級、B級、S級,需要依客戶的規(guī)模和情況而定。

探針臺市場逐年增長:半導體測試對于良率和品質控制至關重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設備(探針臺、測試機、分選機等)。根據半導體產線投資配置規(guī)律,測試設備在半導體設備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機、分選機、探針臺的占比分別為63.10%、17.40%、15.20%。中國半導體市場飛速增長。在全球貿易摩擦背景下,半導體行業(yè)國產化率提高成為必然趨勢,國內半導體產業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴大。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。

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以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。探針臺存放在氮氣柜中,防止探針的加快氧化。湖北磁場探針臺生產廠家

我們通過探針卡把測試儀和被測芯片連接起來。陜西自動探針臺多少錢

x-y工作臺的維護與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數(shù)據表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在小編只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一一介紹。平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。陜西自動探針臺多少錢