本發(fā)明屬于光電催化技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法,可以實(shí)現(xiàn)znte光生載流子的定向分離,并加速界面co2還原反應(yīng)的活性。背景技術(shù):能源危機(jī)和溫室效應(yīng)是人類目前急需解決的關(guān)鍵科學(xué)難題,以太陽(yáng)能驅(qū)動(dòng)的co2還原為解決這些問題提供了一個(gè)理想的途徑,該反應(yīng)綠色、**,條件溫和,吸引了多國(guó)和科研人員的目光。光電催化反應(yīng)技術(shù)整合光催化和電催化技術(shù)的優(yōu)勢(shì),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)co2還原更高的效率和更理想的選擇性。目前,光電催化co2還原的效率依然很低,太陽(yáng)能到化學(xué)能的轉(zhuǎn)化效率遠(yuǎn)低于工業(yè)應(yīng)用所需的10%效率,根本原因在于載流子復(fù)合嚴(yán)重,界面反應(yīng)動(dòng)力學(xué)緩慢。為了推進(jìn)光電催化co2還原技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用,關(guān)鍵是開發(fā)**載流子分離的光陰極材料。znte是一種可見光響應(yīng)的p型半導(dǎo)體(),其導(dǎo)帶邊電勢(shì)()遠(yuǎn)負(fù)于其它半導(dǎo)體,能克服co2還原的熱力學(xué)勢(shì)壘,是目前光(電)催化co2還原的理想材料。但是,單一znte光電極材料依然無(wú)法**分離光生載流子,大部分載流子在界面反應(yīng)發(fā)生之前復(fù)合損失。構(gòu)建半導(dǎo)體納米異質(zhì)結(jié)是分離光生載流子的通用途徑,但該方法往往需要兩個(gè)半導(dǎo)體之間的能帶匹配,且兩相界面需有利于載流子傳輸。這樣,很大地限制了半導(dǎo)體材料的選擇。因此。硅光電二極管陣列 選擇世華高。中山硅光硅光電二極管廠家
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)??字睆綖?5um,孔間距35um;也可以為同心環(huán)結(jié)構(gòu),該同心環(huán)中心與金屬電極106中心重合,個(gè)環(huán)直徑與金屬電極106直徑相同,相鄰環(huán)間距10um,環(huán)中心距35um;正面金屬電極106下方的高反層需要刻蝕掉,以增大同流能力,降低擴(kuò)散電阻,提高響應(yīng)速度。進(jìn)一步的,參見圖5-1~圖5-7。本發(fā)明還提出一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底107上濺射生成高反層109;2)高反層109開設(shè)刻蝕孔;3)高反層109上通過淀積的方法生長(zhǎng)外延層101;4)在外延層101上通過離子注入分別形成保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103;5)在保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103上生成sio2層104,然后在sio2層上方生成si3n4層105。中山硅光硅光電二極管廠家世華高硅光電二極管帶你體驗(yàn)智能系統(tǒng)。
具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述,所述是對(duì)本發(fā)明的解釋而不是限定,一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107;襯底107正面依次設(shè)有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106;所述的高反層109上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔,以及與正面金屬電極106相對(duì)應(yīng)的刻蝕區(qū);所述的注入層包括保護(hù)環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103;所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進(jìn)一步的,所述的襯底107為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上;在外延層101上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)102,以p型離子注入形成有源區(qū)103;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104,所述的氮化硅層為淀積生長(zhǎng)的si3n4層105;所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖,rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗,rsh=∞,rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。
水熱時(shí)間為2-12h。地,步驟3所述氮?dú)獗Wo(hù)條件下的煅燒溫度為200-400℃,煅燒時(shí)間為1-6h。本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明創(chuàng)造性地利用靜電紡絲技術(shù)制備了sr摻雜batio3納米纖維電極,該方法制備過程簡(jiǎn)單,便于規(guī)?;a(chǎn)。且所制備的sr摻雜batio3鐵電材料自發(fā)極化能力強(qiáng),在外場(chǎng)環(huán)境下產(chǎn)生較強(qiáng)的表面電場(chǎng),能夠有效的分離znte電極的光生載流子,極大地提高了znte載流子的分離效率,降低了光生載流子的復(fù)合速度,從而為**co2還原反應(yīng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。附圖說明圖1為實(shí)施例一中制備的sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖。圖2為實(shí)施例一中制備的sr摻雜batio3/znte電極的掃描電鏡圖;圖3為實(shí)施例二中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極的線性掃描伏安曲線圖;圖4為實(shí)施例三中制備的sr摻雜batio3和sr摻雜batio3/znte電極在。具體實(shí)施方式為了更好的理解本發(fā)明,下面結(jié)合實(shí)施例和附圖進(jìn)一步闡明本發(fā)明的內(nèi)容,但本發(fā)明的內(nèi)容不局限于下面的實(shí)施例。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。專業(yè)硅光電二極管生產(chǎn)廠家就找深圳世華高。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于實(shí)現(xiàn),不改變?cè)性O(shè)備的主要結(jié)構(gòu),只增加少量部件和對(duì)控制程序的改造,改造費(fèi)用增加很少,以很少的設(shè)備投資,既減少了產(chǎn)品生產(chǎn)過程中氮?dú)馐褂贸杀荆痔岣吡讼到y(tǒng)的可靠性;本真空焊接系統(tǒng)通過電磁鐵和磁環(huán)進(jìn)行磁性連接,可有效提升石英玻璃罩與下固定板之間的密封性能,以保證生產(chǎn)產(chǎn)品的品質(zhì),從而提高真空焊接系統(tǒng)的實(shí)用性。附圖說明圖1為本實(shí)用新型正面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型下固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型模塊圖。圖中:1、石英玻璃罩;2、上密封圈;3、上固定板;4、plc控制器;5、下密封圈;6、電磁鐵;7、下固定板;8、耐高溫傳輸管道;9、真空電磁閥;10、微型真空泵;11、氮?dú)怆姶砰y;12、氮?dú)獬錃獗茫?3、溫度檢測(cè)儀;14、熔深檢測(cè)儀;15、卡槽;16、感應(yīng)線圈;17、磁環(huán)。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1-3。硅光電二極管電路圖就找世華高!重慶硅光電硅光電二極管電池
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硅光二極管的響應(yīng)時(shí)間也是其性能的重要指標(biāo)之一。在高速光通信系統(tǒng)中,需要選擇具有快速響應(yīng)時(shí)間的硅光二極管,以確保信號(hào)的準(zhǔn)確傳輸和處理。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,硅光二極管的響應(yīng)時(shí)間已經(jīng)越來(lái)越短,為高速光通信技術(shù)的發(fā)展提供了有力保障。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。隨著生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大和產(chǎn)品種類的豐富,公司的銷售業(yè)績(jī)穩(wěn)步提升。中山硅光硅光電二極管廠家