主營(yíng)產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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隨著摩爾定律的放緩,單純依靠先進(jìn)制程技術(shù)提升芯片性能已面臨瓶頸,而先進(jìn)封裝技術(shù)正成為推動(dòng)半導(dǎo)體器件性能突破的關(guān)鍵力量。先進(jìn)封裝技術(shù),也稱為高...
半導(dǎo)體器件的加工需要在潔凈穩(wěn)定的環(huán)境中進(jìn)行,以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。潔凈室是半導(dǎo)體加工的重要場(chǎng)所,必須保持其潔凈度和正壓狀態(tài)。進(jìn)入潔凈室前,...
制造工藝的優(yōu)化是降低半導(dǎo)體生產(chǎn)能耗的重要途徑。通過(guò)調(diào)整生產(chǎn)流程,減少原材料的浪費(fèi),優(yōu)化工藝參數(shù)等方式,可以達(dá)到節(jié)能減排的目的。例如,采用更高...
超快微納加工,以其獨(dú)特的加工速度和精度優(yōu)勢(shì),在半導(dǎo)體制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大潛力。這項(xiàng)技術(shù)利用超短脈沖激光或電子束等高速能量源,實(shí)現(xiàn)材...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國(guó)內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。