隨著電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展和生物、醫(yī)療產(chǎn)業(yè)等對(duì)超精密的需求,越來(lái)越需要能夠加工數(shù)微米大小目標(biāo)物的超精密加工技術(shù)。激光微加工是指利用激光束的高能量,在不對(duì)要加工的材料造成熱損傷的情況下,通過(guò)瞬間熔融和蒸發(fā)材料,以數(shù)微米至數(shù)納米顆粒的大小對(duì)材料進(jìn)行切割、鉆孔等加工。通常,微加工使用皮秒或納秒激光和超短脈沖激光,其波長(zhǎng)非常短或脈沖寬度非常短。超短脈沖激光,包括Excimer激光,廣泛應(yīng)用于眼科、玻璃和塑料的精密加工、精密零件的制造、地球科學(xué)和天體研究以及光譜和FBG工藝。據(jù)悉,用于微細(xì)加工的大部分激光都具有極高的脈沖能量和尖頭輸出功率和能量密度,因此無(wú)法通過(guò)光纜傳輸激光-光束,而且與能夠穩(wěn)定傳輸激光-光束的鏡片、鏡片等光學(xué)裝置一起精密處理要加工材料的技術(shù)也很重要。微加工技術(shù)廣泛應(yīng)用于超精密零件的加工、半導(dǎo)體領(lǐng)域和醫(yī)療、生物領(lǐng)域等,主要應(yīng)用于玻璃切割、Ceramic切割或鉆孔以及半導(dǎo)體晶片切割。微泰利用飛秒激光鉆削技術(shù)可加工HoleSizeMIN5微米微孔,孔間距可加工到3微米,用于MLCC疊層吸膜板,吸膜板MAX可加工80萬(wàn)微孔。可加工各種形狀的孔,同一位置內(nèi)加工不規(guī)則的孔,可進(jìn)行不規(guī)則的混合孔超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤
超精密加工技術(shù)在制造業(yè)中的應(yīng)用,主要包括以下幾個(gè)方面:1.光學(xué)元件加工:如鏡頭、反射鏡等,要求表面粗糙度極低,形狀精度高。2.電子器件加工:如硬盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭、微型傳感器等,對(duì)尺寸和形狀精度有極高要求。3.生物醫(yī)療領(lǐng)域:如微型醫(yī)療器械、人工關(guān)節(jié)等,需要高精度加工以滿足嚴(yán)格的生物兼容性要求。4.航空航天領(lǐng)域:如衛(wèi)星部件、發(fā)動(dòng)機(jī)葉片等,需要承受極端環(huán)境,對(duì)材料加工精度有嚴(yán)格要求。5.新材料研發(fā):如超導(dǎo)材料、納米材料等,加工過(guò)程中需保持材料的特殊性能。超精密加工技術(shù)對(duì)設(shè)備、材料和工藝都有極高的要求,是推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)之一。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤航空及航海工業(yè)中導(dǎo)航儀器上特殊精密零件、雷射儀、光學(xué)儀器等也會(huì)運(yùn)用超精密加工的技術(shù)。
微泰擁有30多年的技術(shù)和專業(yè)知識(shí),生產(chǎn)了各種刀具和刀片。切割加工(包括MLCC和薄膜、新能源電池等)所需的切割加工需要超精密的切割加工,需要超精密的切割加工、切割邊緣的角度管理以及良好的材料管理,以防止被切割產(chǎn)品造成損壞。刀具通常有刀片、刀具、輪刀等多種名稱,而刀刃的管理是刀具的關(guān)鍵技術(shù)。為此,weit提供了一系列值得信賴、可靠的高精度、高質(zhì)量和長(zhǎng)壽命刀具。用于MLCC生產(chǎn)流程的精密刀片,立式刀片切割刀片(雙級(jí)刀片)。刀輪:原材料:碳化鎢。應(yīng)用:用于MLCC制造時(shí)切割陶瓷和電極片?!ね亩龋ㄍǔP∮?0微米)小于10微米·刀鋒直線度小于3微米,小于3微米的切割邊緣上的直度和平行性。刀片三星電子用于手機(jī)鏡頭澆口切割。
微泰真空卡盤精密的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵部件,可確保晶圓表面的平坦度和平行度,從而在半導(dǎo)體制造過(guò)程中安全地固定晶圓,使各種制造過(guò)程順利進(jìn)行。微泰使無(wú)氧銅、鋁、SUS材料的半導(dǎo)體晶圓真空吸盤的平坦度保持在3微米以下;支持6英寸、8英寸和12英寸尺寸的晶圓加工;支持2層和3層的高級(jí)加工技術(shù)。提供4層連接。尺寸:6英寸,8英寸.12英寸。材料:AL6061,AL7075,SUS304,SUS316OFHC(OxygenfreeHighConductivityCopper)平面度公差:小于3um連接:2floor,3floor,4floor表面處理:Anodizing,ElectrolessNickelPlating,GoldPlating,MirrorPolishing。無(wú)氧銅(OFHC)半導(dǎo)體晶圓真空卡盤,無(wú)氧銅(OFHC)材料可延長(zhǎng)晶圓卡盤的使用壽命,并可MAX限度地減少雜質(zhì)進(jìn)入半導(dǎo)體材料,從而防止?jié)撛谖廴?,而且易于加工和成型,可精確匹配卡盤設(shè)計(jì)??杉庸?。然而,這種材料的加工要求極高,需要特別小心和精確才能獲得光滑的表面光潔度,例如翹曲或毛刺、易變形和加工過(guò)程中的硬化。通常,按加工精度劃分,機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。
激光鉆孔是一種非接觸式孔加工工藝,使用高度集中的光束在從金屬到非金屬和聚合物等各種材料上鉆孔。利用高功率激光脈沖或擺動(dòng)鉆孔技術(shù),激光鉆孔可以穿透較薄或較厚的材料。激光鉆孔系統(tǒng)既能進(jìn)行點(diǎn)射鉆孔,也能進(jìn)行即時(shí)鉆孔,以減少對(duì)系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)的干擾。激光鉆孔具有高度精確性和可重復(fù)性,幾乎能鉆出任何形狀和尺寸的孔,直徑小至幾微米,分辨率較高。作為一種非接觸式工藝,激光鉆孔是制造深度直徑比超過(guò)10:1的低錐度、高剖面比孔的方法之一。根據(jù)材料特性,激光鉆孔每秒可鉆數(shù)百甚至數(shù)千個(gè)孔。改變基材成分的超精密加工包括激光熔覆、激光電鍍、激光合金化和激光氣相沉積等應(yīng)用。芯片超精密MLCC
超精密激光切割技術(shù)已經(jīng)被應(yīng)用于精密電子、裝飾、模具、手機(jī)數(shù)碼、鈑金和五金等行業(yè)。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤
刀片/刀具/(BLADE/CUTTER/KNIFE)微泰生產(chǎn)和供應(yīng)用于MLCC的各種工業(yè)刀具,包括垂直刀片、刀輪刀具、修剪刀片和鏡頭刀具。我們擁有制造刀片的自主技術(shù),并擁有使用飛秒激光的切割機(jī)邊緣校正技術(shù),飛秒激光拋光技術(shù),實(shí)現(xiàn)了無(wú)比鋒利和提高使用壽命。刀鋒(刀刃)的無(wú)凹痕、無(wú)缺陷的邊緣。通過(guò)自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行管理,并以很高水平的光照度和直度進(jìn)行管理。應(yīng)用MLCC切割,相機(jī)模塊+垂直刀片,刀輪切割器,鏡頭澆注口修整刀片、透鏡切割器。特別是塑料鏡頭澆注口切割刀片占韓國(guó)市場(chǎng)90%以上。半導(dǎo)體加工超精密晶圓卡盤