NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數據存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數據可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度 **快
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產中，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響，而且表面三維評定參數由于能更***，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面，確保零件使用功能的實現。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。
粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量。光電輪廓儀美元報價
輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術封裝生產線檢測
集成電路工藝技術研發(fā)和產業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術研發(fā)、產業(yè)化
MEMS技術研發(fā)和產業(yè)化
新型顯示技術研發(fā)、產業(yè)化
超高精密表面工程技術
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網絡） CSI輪廓儀用途輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。
NanoX-系列輪廓儀**性客戶
? 集成電路相關產業(yè)
– 集成電路先進封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯
半導體，華潤安盛等
? MEMS相關產業(yè)
– 中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等
? 高 效太陽能電池相關產業(yè)
– 常州億晶光電，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等
? 微電子、FPD、PCB等產業(yè)
– 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等
具備 Global alignment & Unit alignment
自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
XY運動速度 **快
如果有什么問題，請聯(lián)系我們。
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數據存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數據可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度
**快
如果需要了解更多詳細參數，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。
我們主要經營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設備。 NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光。
輪廓儀產品應用
藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）
高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測
Oled 特征結構測量，表面粗糙度
外延片表面缺 陷檢測
硅片外延表面缺 陷檢測
散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）
生物、醫(yī)藥新技術，微流控器件
微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度
移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級的測量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng)，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內，同時完善的數據評價系統(tǒng)為用戶評價產品面形質量提供了方便。 NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。CSI輪廓儀用途
輪廓儀可用于Oled 特征結構測量，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測，硅片外延表面缺 陷檢測。光電輪廓儀美元報價
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數
3D測量主要技術指標（1）：
測量模式： PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）
干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）
傾斜調節(jié)： ±5°電動調節(jié)
橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關）
3D測量主要技術指標（2）：
垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s
高度測量范圍： 0.1nm – 10mm
表面反射率： > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性：0.15nm(1σ)
VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ，10um臺階高) 光電輪廓儀美元報價
岱美儀器技術服務（上海）有限公司坐落在中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家專業(yè)的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】公司。公司目前擁有較多的高技術人才，以不斷增強企業(yè)重點競爭力，加快企業(yè)技術創(chuàng)新，實現穩(wěn)健生產經營。岱美儀器技術服務（上海）有限公司主營業(yè)務涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)，堅持“質量保證、良好服務、顧客滿意”的質量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴。公司憑著雄厚的技術力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實的工作作風、良好的職業(yè)道德，樹立了良好的磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)形象，贏得了社會各界的信任和認可。