odecualquierelementoconeldepóóósitosdeaceroyaceroinoxidabledesimpleparediránprovistosdeunsistemadeproteccióncatódicasalvoquesedemuestre,medianteunestudiodeagresividaddelterreno,óncatódicaesgarantizarunpotencialentreeldepósitoyelsueloquemedidorespectoalelectrododereferenciacobre-sulfatodecobre,seaigualoinferiora-0,áde-0,95Vcomomáximocuandohayariesgodecorrosióíasférreasuotrascausas,deberánadoptarsemedidasespecialesparalaproteccióncatódica,segúósitosensualojamientosesometeránauncontrol,paracomprobarquenohansufridoda?osduranteeltransporteydescarga,tantoenlachapacomoenlapinturadeproteccióánsometidosaunapruebadeestanqueidad,hidráulicaoneumáticaaunapresiónmanométricasuperiora20KPa.(0,2kilogramos/centímetrocuadrado)ynosuperiora34kPa.(0。專業(yè)BOE蝕刻液由蘇州博洋化學股份有限公司提供。上海了解BOE蝕刻液哪里買

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。

    表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。實施例2如實施例1所述進行沸點測定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。清洗試驗的總體過程首先，用FORANE141b對2X5cm的不銹鋼片材進行脫脂。這些片材各自在測試之前稱重，其構成皮重。然后，在這些片材的單側上涂布油REDUCTELFSP460。對該涂布有油的片材進行稱重，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評價組合物的燒杯中5分鐘，不進行攪拌且無超聲。該片材一移出，就在通風的情況下進行15分鐘的滴干(dripdry)，并且，在該15分鐘結束時，通過稱重測定油的殘留量。與油的初始量相比，計算移除的油的百分數(shù)。實施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下，得到0%的油移除率。實施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。BOE蝕刻液的的性價比、質量哪家比較好？

    LaLey21/1992,de16dejulio,deIndustria,se?ala,enelapartado5delartículo12,que?losReglamentosdeSeguridadIndustrialdeámbitoestatalseaprobaránporelGobiernodelaNación,sinperjuiciodequelasComunidadesAutónomas,concompetencialegislativasobreindustria,puedanintroducirrequisitosadicionalessobrelasmismasmateriascuandosetratedeinstalacionesradicadasensuterritorio?.Deacuerdoconello,sehaelaboradolaInstrucciónTécnicaComplementaria(ITC)MI-IP04,referentealasinstalacionesfijasparadistribuciónalpormenordecarburantesycombustiblespetrolíferoseninstalacionesdeventaalpúblico,yenlaquesehantenidoencuentalassolucionestécnicasdisponiblesenelactualniveldeconocimientosylaexperienciapráónhasidosometidaalprocedimientodeinformaciónenmateriadenormasyreglamentacionestécnicasprevistoenelRealDecreto1168/1995,de7dejulio,porelqueseincorporaalderechointernolaDirectiva94/10/CEEdelParlamentoEuropeoydelConsejo,de23demarzo,quemodificalaDirectiva83/189/CEE,ía。博洋 BOE 蝕刻液以其獨特優(yōu)勢，為行業(yè)提供個性化解決方案！湖北技術密集BOE蝕刻液按需定制

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后，放入氮化硅樣片進行蝕刻；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量，計算蝕刻前后6個取點的厚度差值，對比6個點之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結合具體實施例，進一步闡述本發(fā)明，對本發(fā)明做進一步詳細的說明，但不限于這些實施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85％，蝕刻溫度為160℃，蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后，進行接觸角的測量；蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后，在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后，取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中。上海了解BOE蝕刻液哪里買