在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí),如果過(guò)濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過(guò)濾器被阻塞,則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過(guò)濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線(xiàn)以更換過(guò)濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請(qǐng)參閱圖1,圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的過(guò)濾液機(jī)臺(tái)100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100,包括:依次順序排列的多級(jí)腔室10、每一級(jí)所述腔室10對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20;過(guò)濾器30,所述過(guò)濾器30的一端設(shè)置通過(guò)管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接,所述過(guò)濾器30的另一端通過(guò)第二管道50與下一級(jí)腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門(mén)開(kāi)關(guān)60。 蘇州剝離液哪家好?;深圳京東方用的蝕刻液剝離液訂做價(jià)格
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開(kāi)一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,固液混合物進(jìn)入一級(jí)過(guò)濾罐16的過(guò)濾筒中,先由一級(jí)過(guò)濾罐16的過(guò)濾筒過(guò)濾得到一級(jí)線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復(fù)3次數(shù)后,一級(jí)線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂回收完成,關(guān)閉一級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥18,利用提升泵6將一級(jí)過(guò)濾罐16中濾液抽取到攪拌釜10內(nèi)備用;2、向攪拌釜10中輸入酸性溶液,與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦?,即二?jí)線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂,利用ph計(jì)檢測(cè)溶液ph值,當(dāng)達(dá)到5-7范圍內(nèi)即可,打開(kāi)二級(jí)過(guò)濾罐13進(jìn)料管路上的電磁閥17,帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過(guò)濾罐13中,由其中的過(guò)濾筒過(guò)濾得到二級(jí)線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂,廢液二級(jí)過(guò)濾罐底部的廢液出口20流出,送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過(guò)濾得到的一級(jí)線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料,而二級(jí)線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂可用于其他場(chǎng)合。鋁鉬鋁蝕刻液剝離液產(chǎn)品介紹ITO剝離液的配方是什么?
常在印刷電路板,液晶顯示面板,半導(dǎo)體集成電路等工藝制造過(guò)程中,需要通過(guò)多次圖形掩膜照射曝光及蝕刻等工序在硅晶圓或玻璃基片上形成多層精密的微電路,形成微電路之后,進(jìn)一步用剝離液將涂覆在微電路保護(hù)區(qū)域上作為掩膜的光刻膠除去。比如光電TFT-LCD生產(chǎn)工藝主要包含光阻涂布、顯影、去光阻、相關(guān)清洗作業(yè)四大階段,其中在去光阻階段會(huì)產(chǎn)生部分剝離液。印制電路板生產(chǎn)工藝相當(dāng)復(fù)雜。不僅設(shè)備和制造工藝的科技含量高,工藝流程長(zhǎng),用水量大,而且所用的化學(xué)藥品(包括各種添加劑)種類(lèi)多、用量大。因此,在用減成法生產(chǎn)印刷線(xiàn)路板的過(guò)程中,產(chǎn)污環(huán)節(jié)多,種類(lèi)繁雜,物料損耗大??煞譃楦煞庸?設(shè)計(jì)和布線(xiàn)、模版制作、鉆孔、貼膜、曝光和外形加工等)和濕法加工(內(nèi)層板黑膜氧化、去孔壁樹(shù)脂膩污、沉銅、電鍍、顯影、蝕刻、脫膜、絲印、熱風(fēng)整平等)過(guò)程。其中在脫模(剝膜)工序?yàn)榱嗣摮龔U舊電路板表面殘留焊錫,需用硝酸為氧化劑,氨基磺酸為穩(wěn)定劑,苯并三氮唑?yàn)殂~的緩蝕劑進(jìn)行操作,整個(gè)工序中會(huì)產(chǎn)生大量的剝離液,有機(jī)溶劑成分較大。
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過(guò)皮帶連接,所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述膠面收卷輥通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接。進(jìn)一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接。進(jìn)一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進(jìn)一步的,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接。進(jìn)一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進(jìn)一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)連接。本技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對(duì)印刷品膠面印刷進(jìn)行剝離,同時(shí)能夠?qū)τ∷⑵纺z面進(jìn)行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。天馬微電子用的哪家的剝離液?
技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。技術(shù)背景:微納制造技術(shù)是衡量一個(gè)國(guó)家制造水平的重要標(biāo)志,對(duì)提高人們的生活水平,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng),保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)?;诎雽?dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對(duì)于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負(fù)性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),再通過(guò)金屬的沉積和溶膠實(shí)現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過(guò)程中的散焦及臨近效應(yīng)等會(huì)造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會(huì)造成蒸發(fā)過(guò)程中的掛壁嚴(yán)重從而使lift-off困難。同時(shí)由于我們常用的高分辨的負(fù)膠如hsq,在去膠的過(guò)程中需要用到危險(xiǎn)的氫氟酸,而氫氟酸常常會(huì)腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對(duì)于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。 剝離液可以有正膠和負(fù)膠以及正負(fù)膠不同的分類(lèi)。深圳京東方用的蝕刻液剝離液訂做價(jià)格
剝離液的使用方法和條件;深圳京東方用的蝕刻液剝離液訂做價(jià)格
砷化鎵也有容易被腐蝕的特點(diǎn),比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。去膠,也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,需要去除光刻膠之后進(jìn)行下一步。有時(shí)直接采用+異丙醇的方式就可以去除。但是對(duì)于等離子體處理過(guò)的光刻膠,一般就比較難去除干凈。有的人把加熱到60℃,雖然去膠效果快了一些,但是沸點(diǎn)是60℃,揮發(fā)的特別快,而且**蒸汽也有易燃的風(fēng)險(xiǎn),因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要。介紹常見(jiàn)的一款剝離液,該剝離液去膠效果好,但是對(duì)砷化鎵有輕微腐蝕,不易長(zhǎng)時(shí)間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類(lèi)而不同,但基本上都要加熱。深圳京東方用的蝕刻液剝離液訂做價(jià)格