半導體制造中，氧化退火爐的溫度控制精度為何如此重要？

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-06-17

溫度偏差會導致?lián)诫s離子激的活率不一致，影響晶體管閾值電壓（Vth）一致性，甚至造成 PN 結漏電。例如，離子注入后退火溫度每偏差 5℃，器件漏電流可能波動 10% 以上。

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簡介：賽瑞達成立于2021年，專注于半導體設備的研發(fā)、生產與銷售。公司位于無錫，致力于提供定制化解決方案。

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