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極測精密溫控，為光刻機(jī)打造極限穩(wěn)定工作環(huán)境
光刻機(jī)作為芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，其工作環(huán)境的任何細(xì)微變化都可能對芯片制造的精度與質(zhì)量產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響。其中，精密溫控成為保障光刻機(jī)穩(wěn)定、高效運(yùn)行的關(guān)鍵要素。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術(shù)有限公司憑借強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，推出的精密環(huán)控設(shè)備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制和可實(shí)現(xiàn)十級潔凈度的強(qiáng)大能力，成為光刻機(jī)的理想搭檔。目前已擁有結(jié)合全場景非標(biāo)定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求?，F(xiàn)已服務(wù)多家全球半導(dǎo)體、通信設(shè)備、顯示面板排頭企業(yè)與國家重點(diǎn)實(shí)驗室，應(yīng)用于眾多科研與生產(chǎn)場景。
光刻機(jī)工作對環(huán)境的嚴(yán)苛要求光刻機(jī)的工作原理基于高精度的光刻技術(shù)，通過將電路圖案投影到硅片上，實(shí)現(xiàn)芯片的制造。在這一過程中，溫度的微小波動都可能導(dǎo)致光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)的熱脹冷縮，進(jìn)而影響光刻精度，使芯片的線路出現(xiàn)偏差，降低芯片的良品率。因此，為光刻機(jī)營造一個穩(wěn)定、精zhun的溫度環(huán)境至關(guān)重要。
極測精密溫控設(shè)備的關(guān)鍵作用
其高達(dá) ±0.002℃的高精密溫度控制，能夠有效抑制溫度波動對光刻機(jī)的影響。且溫度水平均勻性小于 16mK/m。這種高標(biāo)準(zhǔn)的溫度控制精度，為光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)提供了恒定的溫度環(huán)境，極大地提升了光刻過程的穩(wěn)定性與準(zhǔn)確性，實(shí)現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。 同時，該設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h，避免了因濕度變化導(dǎo)致的光刻機(jī)零部件腐蝕和光學(xué)鏡片結(jié)霧等問題。在潔凈度方面，系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設(shè)備工作區(qū)），有效防止微小塵埃顆粒對光刻過程的干擾，確保光刻機(jī)在超凈環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行。
數(shù)據(jù)記錄與智能功能助力生產(chǎn)管理
極測精密溫控設(shè)備具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)實(shí)時記錄查詢功能。設(shè)備運(yùn)行過程中的溫度、濕度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，方便操作人員直觀了解環(huán)境參數(shù)的變化趨勢。數(shù)據(jù)自動保存并可隨時以表格形式導(dǎo)出，同時設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，為企業(yè)的生產(chǎn)管理和質(zhì)量追溯提供了詳實(shí)的數(shù)據(jù)支持。一旦出現(xiàn)異常情況，自動安全保護(hù)系統(tǒng)立即啟動，故障自動保護(hù)程序確保設(shè)備全天候無憂運(yùn)行，并可通過遠(yuǎn)程協(xié)助進(jìn)行故障處理，蕞大程度減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)停滯。
便捷設(shè)計與靜音運(yùn)行優(yōu)化工作體驗
考慮到半導(dǎo)體制造車間的實(shí)際布局需求，極測精密環(huán)控柜采用可拆卸鋁合金框架，大型設(shè)備可在現(xiàn)場輕松組裝，節(jié)省安裝時間與成本。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì)，不僅堅固耐用，還可根據(jù)企業(yè)需求定制外觀顏色，與車間整體環(huán)境相融合。在運(yùn)行過程中，設(shè)備采用 EC 風(fēng)機(jī)和高效隔音材質(zhì)，實(shí)現(xiàn)靜音高效運(yùn)轉(zhuǎn)，噪音低于 45dB，為車間工作人員營造安靜舒適的工作環(huán)境，避免噪音對生產(chǎn)操作和設(shè)備調(diào)試造成干擾。
自推出以來，極測精密溫控設(shè)備已成功為眾多半導(dǎo)體制造企業(yè)的光刻機(jī)提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境，獲得了特別好評。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭日益激烈的當(dāng)下，選擇極測精密溫控設(shè)備，就是為光刻機(jī)選擇了蕞可靠的溫度保障，為芯片制造的高精度、高效率生產(chǎn)奠定堅實(shí)基礎(chǔ)，助力企業(yè)在半導(dǎo)體領(lǐng)域搶占技術(shù)高地，贏得市場先機(jī)。
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