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珠海激光光刻膠工廠

來源： 發(fā)布時間：2025-06-11

光刻膠的工作原理：
1. 涂覆與曝光：在基底（如硅片、玻璃、聚合物）表面均勻涂覆光刻膠，通過掩膜（或直接電子束掃描）對特定區(qū)域曝光。

2. 化學變化：曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生光化學反應（正性膠曝光后溶解，負性膠曝光后交聯(lián)不溶）。

3. 顯影與刻蝕：溶解未反應的部分，留下圖案化的膠層，作為后續(xù)刻蝕或沉積的掩模，將圖案轉移到基底上。

在納米技術中，關鍵挑戰(zhàn)是突破光的衍射極限（λ/2），因此需依賴高能束曝光技術（如電子束光刻、極紫外EUV光刻）和高性能光刻膠（高分辨率、低缺陷）。

吉田技術研發(fā)與生產(chǎn)能力。珠海激光光刻膠工廠

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 光伏電池（半導體級延伸）
? HJT/TOPCon電池：在硅片表面圖形化金屬電極，使用高靈敏度光刻膠（曝光能量≤50mJ/cm2），線寬≤20μm，降低遮光損失。

? 鈣鈦礦電池：用于電極圖案化和層間隔離，需耐有機溶劑（適應溶液涂布工藝）。

 納米壓印技術（下一代光刻）

? 納米壓印光刻膠：通過模具壓印實現(xiàn)10nm級分辨率，用于3D NAND存儲孔陣列（直徑≤20nm）、量子點顯示陣列等。

 微流控與生物醫(yī)療

? 微流控芯片：制造微米級流道（寬度10-100μm），材料需生物相容性（如PDMS基材適配）。

? 生物檢測芯片：通過光刻膠圖案化抗體/抗原固定位點，精度≤5μm。
激光光刻膠廠家正性光刻膠的工藝和應用場景。

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廣東吉田半導體材料有限公司成立于松山湖經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)，是一家專注于半導體材料研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的技術企業(yè)。公司注冊資本 2000 萬元，擁有 23 年行業(yè)經(jīng)驗，產(chǎn)品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠、半導體錫膏、焊片及靶材等，服務全球市場并與多家世界 500 強企業(yè)建立長期合作關系。
作為國家技術企業(yè)，吉田半導體以科技創(chuàng)新為驅動力，擁有多項技術，并通過 ISO9001:2008 質量體系認證。生產(chǎn)過程嚴格遵循 8S 現(xiàn)場管理標準，原材料均采用美、德、日等國進口的材料，確保產(chǎn)品質量穩(wěn)定可靠。公司配備全自動化生產(chǎn)設備，具備行業(yè)大型的規(guī)模化生產(chǎn)能力，致力于成為 “半導體材料方案提供商”。
其明星產(chǎn)品包括：適用于 LCD 制造的正性光刻膠 YK-200/YK-300，具備高分辨率與優(yōu)異涂布性能；3 微米負性光刻膠 SU-3，適用于厚膜工藝；耐高溫達 250℃的納米壓印光刻膠 JT-2000，可滿足高精度微納加工需求。所有產(chǎn)品均符合要求，部分型號通過歐盟 ROHS 認證。

關鍵工藝流程

 涂布：

? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調(diào)整），需均勻無氣泡（旋涂轉速500-5000rpm）。

 前烘（Soft Bake）：

? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）。

 曝光：

? 光源匹配：

? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。

? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲芯片）。

? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級缺陷）。

? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導致圖案失真。

 顯影：

? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區(qū)域膠膜溶解，未曝光區(qū)域保留，形成三維立體圖案。

 后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：

? 化學增幅型膠需此步驟，通過加熱（90-130℃）激發(fā)光酸催化反應，提高分辨率和耐蝕刻性。
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應用。

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光刻膠（如液晶平板顯示器光刻膠）

  • 液晶平板顯示器制造：在液晶平板顯示器（LCD）的生產(chǎn)過程中，光刻膠用于制作液晶盒內(nèi)的各種精細圖案，包括像素電極、公共電極、取向層圖案等。這些圖案的精度和質量直接影響液晶顯示器的顯示效果，如分辨率、對比度、視角等。
  • 有機發(fā)光二極管顯示器（OLED）制造：OLED 顯示器的制造同樣需要光刻膠來制作電極、像素定義層等關鍵結構。OLED 顯示器具有自發(fā)光、響應速度快等優(yōu)點，而光刻膠能保障其精細的像素結構制作，提升顯示器的發(fā)光效率和顯示質量 。


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吉田半導體獲評 "專精特新" 企業(yè)，行業(yè)技術標準，以技術創(chuàng)新與標準化生產(chǎn)為，吉田半導體榮獲 "廣東省專精特新企業(yè)" 稱號，樹立行業(yè)。
憑借在光刻膠領域的表現(xiàn)，吉田半導體獲評 "廣東省專精特新企業(yè)"" "，承擔多項國家 02 專項課題。公司主導制定《半導體光刻膠用樹脂技術規(guī)范》等行業(yè)標準，推動國產(chǎn)材料標準化進程。未來，吉田半導體將繼續(xù)以" 中國半導體材料方案提供商 "為愿景，深化技術研發(fā)與市場拓展，為全球半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻" 中國力量 "。珠海激光光刻膠工廠

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