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湖北油墨光刻膠

來(lái)源： 發(fā)布時(shí)間：2025-05-27

定義與特性

正性光刻膠是一種在曝光后，曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料，形成與掩膜版（Mask）圖案一致的圖形。與負(fù)性光刻膠（未曝光區(qū)域溶解）相比，其優(yōu)勢(shì)是分辨率高、圖案邊緣清晰，是半導(dǎo)體制造（尤其是制程）的主流選擇。

化學(xué)組成與工作原理

 主要成分

? 樹(shù)脂（成膜劑）：

? 傳統(tǒng)正性膠：采用**酚醛樹(shù)脂（Novolak）與重氮萘醌（DNQ，光敏劑）**的復(fù)合體系（PAC體系），占比約80%-90%。

? 化學(xué)增幅型（用于DUV/EUV）：含環(huán)化烯烴樹(shù)脂或含氟聚合物，搭配光酸發(fā)生器（PAG），通過(guò)酸催化反應(yīng)提高感光度和分辨率。

? 溶劑：溶解樹(shù)脂和感光劑，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

? 添加劑：表面活性劑（改善涂布均勻性）、穩(wěn)定劑（防止暗反應(yīng)）、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等。

 工作原理

? 曝光前：光敏劑（如DNQ）與樹(shù)脂結(jié)合，形成不溶于堿性顯影液的復(fù)合物。

? 曝光時(shí)：

? 傳統(tǒng)PAC體系：DNQ在紫外光（G線436nm、I線365nm）照射下發(fā)生光分解，生成羧酸，使曝光區(qū)域樹(shù)脂在堿性顯影液中溶解性增強(qiáng)。

? 化學(xué)增幅型：PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸，催化樹(shù)脂發(fā)生脫保護(hù)反應(yīng)，大幅提高顯影速率（靈敏度提升10倍以上）。

? 顯影后：曝光區(qū)域溶解去除，未曝光區(qū)域保留，形成正性圖案。
光刻膠新興及擴(kuò)展應(yīng)用。湖北油墨光刻膠

湖北油墨光刻膠,光刻膠

國(guó)家戰(zhàn)略支持
《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域，計(jì)劃投入超500億元支持研發(fā)。工信部對(duì)通過(guò)驗(yàn)證的企業(yè)給予稅收減免和設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼，單家企業(yè)比較高補(bǔ)貼可達(dá)研發(fā)投入的30%。

 地方產(chǎn)業(yè)協(xié)同
濟(jì)南設(shè)立寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)基金，深圳國(guó)際半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)（2025年4月）吸引全球300余家企業(yè)參展，推動(dòng)技術(shù)交流。

 資本助力產(chǎn)能擴(kuò)張
恒坤新材通過(guò)科創(chuàng)板IPO募資15億元，擴(kuò)大KrF光刻膠產(chǎn)能并布局集成電路前驅(qū)體項(xiàng)目。彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)2024年上半年?duì)I收增長(zhǎng)54.43%，ArF光刻膠開(kāi)始形成銷售。
北京低溫光刻膠工廠光刻膠：半導(dǎo)體之路上的挑戰(zhàn)與突破。

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國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加速
日本信越化學(xué)因地震導(dǎo)致KrF光刻膠產(chǎn)能受限后，國(guó)內(nèi)企業(yè)加速驗(yàn)證本土產(chǎn)品。鼎龍股份潛江工廠的KrF/ArF產(chǎn)線2024年12月獲兩家大廠百萬(wàn)大單，二期300噸生產(chǎn)線在建。武漢太紫微的T150A光刻膠性能參數(shù)接近日本UV1610，已通過(guò)中芯國(guó)際14nm工藝驗(yàn)證。預(yù)計(jì)到2025年，國(guó)內(nèi)KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率將從不足5%提升至10%。

 原材料國(guó)產(chǎn)化突破
光刻膠樹(shù)脂占成本50%-60%，八億時(shí)空的光刻膠樹(shù)脂產(chǎn)線預(yù)計(jì)2025年實(shí)現(xiàn)百噸級(jí)量產(chǎn)，其產(chǎn)品純度達(dá)到99.999%，金屬雜質(zhì)含量低于1ppb。怡達(dá)股份作為全球電子級(jí)PM溶劑前段（市占率超40%），與南大光電合作開(kāi)發(fā)配套溶劑，打破了日本關(guān)東化學(xué)的壟斷。這些進(jìn)展使光刻膠生產(chǎn)成本降低約20%。

 供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)緩解
合肥海關(guān)通過(guò)“空中專線”保障光刻膠運(yùn)輸，將進(jìn)口周期從28天縮短至17天，碳排放減少18%。國(guó)內(nèi)在建12座光刻膠工廠（占全球總數(shù)58%），預(yù)計(jì)2025年產(chǎn)能達(dá)3000噸/年，較2023年增長(zhǎng)150%。

 感光機(jī)制

? 重氮型（雙液型）：需混合光敏劑（如二疊氮二苯乙烯二磺酸鈉），曝光后通過(guò)交聯(lián)反應(yīng)固化，適用于精細(xì)圖案（如PCB電路線寬≤0.15mm）。

? SBQ型（單液型）：預(yù)混光敏劑，無(wú)需調(diào)配，感光度高（曝光時(shí)間縮短30%），適合快速制版（如服裝印花）。

? 環(huán)保型：采用無(wú)鉻配方（如CN10243143A），通過(guò)多元固化體系（熱固化+光固化）實(shí)現(xiàn)12-15mJ/cm2快速曝光，分辨率達(dá)2μm，符合歐盟REACH標(biāo)準(zhǔn)。

 功能細(xì)分

? 耐溶劑型：如日本村上AD20，耐酒精、甲苯等溶劑，適用于電子油墨印刷。

? 耐水型：如瑞士科特1711，抗水性強(qiáng)，適合紡織品水性漿料。

? 厚版型：如德國(guó)K?ppen厚版膠，單次涂布可達(dá)50μm，用于立體印刷。


典型應(yīng)用場(chǎng)景：

? PCB制造：使用360目尼龍網(wǎng)+重氮感光膠，配合LED曝光（405nm波長(zhǎng)），實(shí)現(xiàn)0.15mm線寬，耐酸性蝕刻液。

? 紡織印花：圓網(wǎng)制版采用9806A型感光膠，涂布厚度20μm，耐堿性染料色漿，耐印率超10萬(wàn)次。

? 包裝印刷：柔版制版選用杜邦賽麗® Lightning LFH版材，UV-LED曝光+無(wú)溶劑工藝，碳排放降低40%。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體。

湖北油墨光刻膠,光刻膠
制版光刻膠應(yīng)用場(chǎng)景：印刷電路板（FPC）、觸摸屏（TP）的掩膜版制作，以及光學(xué)元件（如衍射光柵）的微納加工。特點(diǎn)：高分辨率與耐化學(xué)性，確保模板的長(zhǎng)期使用壽命。

水性光刻膠（JT-1200）應(yīng)用場(chǎng)景：環(huán)保要求高的電子元件（如醫(yī)療設(shè)備、汽車電子）的制造，以及柔性電路的生產(chǎn)。特點(diǎn)：以水為溶劑，低 VOC 排放，符合 RoHS 和 REACH 環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

水油兩用光刻膠（JT-2001/SR-3308）適用于混合工藝場(chǎng)景（如部分環(huán)節(jié)需水性顯影，部分需溶劑顯影），提升生產(chǎn)靈活性。 松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田，全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn)！福建光刻膠

發(fā)展戰(zhàn)略與行業(yè)地位。湖北油墨光刻膠

 研發(fā)投入
? 擁有自己實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)團(tuán)隊(duì)，研發(fā)費(fèi)用占比超15%，聚焦EUV光刻膠前驅(qū)體、低缺陷納米壓印膠等前沿領(lǐng)域，與中山大學(xué)、華南理工大學(xué)建立產(chǎn)學(xué)研合作。

? 專項(xiàng)布局：累計(jì)申請(qǐng)光刻膠相關(guān)的項(xiàng)目30余項(xiàng)，涵蓋樹(shù)脂合成、配方優(yōu)化、涂布工藝等細(xì)致環(huán)節(jié)。

 生產(chǎn)體系

? 全自動(dòng)化產(chǎn)線：采用德國(guó)曼茨（Manz）涂布設(shè)備、日本島津（Shimadzu）檢測(cè)儀器，年產(chǎn)能超500噸（光刻膠），支持小批量定制（小訂單100g）和大規(guī)模量產(chǎn)。

? 潔凈環(huán)境：生產(chǎn)車間達(dá)萬(wàn)級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)（ISO 8級(jí)），避免顆粒污染，確保光刻膠缺陷密度<5個(gè)/cm2。
湖北油墨光刻膠

標(biāo)簽： 光刻膠 錫片