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來源: 發(fā)布時間:2025-05-24

光刻膠的納米級性能要求

 超高分辨率:需承受電子束(10keV以上)或EUV(13.5nm波長)的轟擊,避免散射導致的邊緣模糊,目前商用EUV膠分辨率已達13nm(3nm制程)。

 低缺陷率:納米級結(jié)構(gòu)對膠層中的顆?;蚧瘜W不均性極其敏感,需通過化學增幅型配方(如酸催化交聯(lián))提升對比度和抗刻蝕性。

 多功能性:兼容多種基底(柔性聚合物、陶瓷)和后處理工藝(干法刻蝕、原子層沉積),例如用于柔性電子的可拉伸光刻膠。
技術(shù)挑戰(zhàn)與前沿方向

? EUV光刻膠優(yōu)化:解決曝光后酸擴散導致的線寬波動,開發(fā)含氟聚合物或金屬有機材料以提高靈敏度。

? 無掩膜光刻:結(jié)合機器學習優(yōu)化電子束掃描路徑,直接寫入復雜納米圖案(如神經(jīng)網(wǎng)絡芯片的突觸陣列),縮短制備周期。

? 生物基光刻膠:開發(fā)可降解、低毒性的天然高分子光刻膠,用于生物芯片或環(huán)保型納米制造。

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LCD顯示

? 彩色濾光片(CF):

? 黑色矩陣(BM)光刻膠:隔離像素,線寬精度±2μm,透光率<0.1%。

? RGB色阻光刻膠:形成紅/綠/藍像素,需高色純度(NTSC≥95%)和耐光性。

? 陣列基板(Array):

? 柵極絕緣層光刻膠:用于TFT-LCD的柵極圖案化,分辨率≤3μm。

 OLED顯示(柔性/剛性)

? 像素定義層(PDL)光刻膠:在基板上形成有機發(fā)光材料的 confinement 結(jié)構(gòu),線寬精度±1μm,需耐溶劑侵蝕(適應蒸鍍工藝)。

? 觸控電極(如ITO/PET):通過光刻膠圖形化實現(xiàn)透明導電線路,線寬≤5μm。

 Mini/Micro LED

? 巨量轉(zhuǎn)移前的芯片制備:使用高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)定義微米級LED陣列,良率要求>99.99%。
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主要優(yōu)勢:細分領域技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同

 技術(shù)積累與自主化能力
公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗,實現(xiàn)了從樹脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如,其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系,分辨率達3μm,適用于MEMS傳感器、光學器件等領域,填補了國內(nèi)空白。
技術(shù)壁壘:掌握光刻膠主要原材料(如樹脂、光酸)的合成技術(shù),部分原材料純度達PPT級,金屬離子含量低于0.1ppb,良率超99%。

 產(chǎn)品多元化與技術(shù)化布局
產(chǎn)品線覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等,形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如:

? LCD光刻膠:適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術(shù),與京東方、TCL華星合作開發(fā)高分辨率產(chǎn)品,良率提升至98%。

? 半導體錫膏:供應華為、OPPO等企業(yè),年采購量超200噸,用于5G手機主板封裝。
技術(shù)化延伸:計劃2025年啟動半導體用KrF光刻膠研發(fā),目標進入中芯國際、長江存儲供應鏈。

 質(zhì)量控制與生產(chǎn)能力
通過ISO9001:2008質(zhì)量體系認證,生產(chǎn)環(huán)境執(zhí)行8S管理,原材料采用美、德、日進口高質(zhì)量材料。擁有全自動化生產(chǎn)線,年產(chǎn)能達2000噸(光刻膠及配套材料),支持大規(guī)模訂單交付。

憑借多年研發(fā)積累,公司形成了覆蓋光刻膠、焊接材料、電子膠等領域的豐富產(chǎn)品線。在焊接材料方面,不僅提供常規(guī)錫膏、助焊膏,還針對特殊場景開發(fā)了 BGA 助焊膏、針筒錫膏等定制化產(chǎn)品,滿足精密電子組裝的多樣化需求。同時,感光膠系列產(chǎn)品分為水性與油性兩類,兼具耐潮性與易操作性,廣泛應用于印刷電路板制造。

公司產(chǎn)品遠銷全球,并與多家跨國企業(yè)及電子加工企業(yè)建立長期合作關(guān)系。通過在重點區(qū)域設立辦事處,提供快速響應的技術(shù)支持與售后服務。依托東莞 “世界工廠” 的產(chǎn)業(yè)資源,公司強化供應鏈協(xié)同,縮短交付周期,為客戶提供高效解決方案。

未來,廣東吉田半導體材料有限公司將繼續(xù)深化技術(shù)創(chuàng)新,拓展產(chǎn)品應用領域,以可靠的產(chǎn)品與專業(yè)的服務,持續(xù)鞏固其在半導體材料行業(yè)的重要地位。

產(chǎn)業(yè)鏈配套:原材料與設備協(xié)同發(fā)展。

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吉田半導體柯圖泰全系列感光膠:進口品牌品質(zhì),本地化服務支持

柯圖泰全系列感光膠依托進口技術(shù),提供高性價比的絲網(wǎng)印刷解決方案。
吉田半導體代理的柯圖泰全系列感光膠(如 PLUS 6000、Autosol 2000),源自美國先進配方,分辨率達 120 線 / 英寸,適用于玻璃、陶瓷等多種基材。產(chǎn)品通過 SGS 認證,符合電子行業(yè)有害物質(zhì)限制要求,其高感光度與耐摩擦性,確保絲網(wǎng)印刷的清晰度與耐久性。公司提供技術(shù)參數(shù)匹配、制版工藝指導等本地化服務,幫助客戶優(yōu)化生產(chǎn)流程,降低材料損耗。
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技術(shù)挑戰(zhàn)

光刻膠作為半導體、顯示面板等高級制造的材料,其技術(shù)挑戰(zhàn)主要集中在材料性能優(yōu)化、制程精度匹配、復雜環(huán)境適應性以及產(chǎn)業(yè)自主化突破等方面


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? 高分辨率:隨著半導體制程向3nm、2nm推進,需開發(fā)更高精度的EUV光刻膠,解決光斑擴散、線寬控制等問題。

? 靈敏度與穩(wěn)定性:平衡感光速度和圖案抗蝕能力,適應極紫外光(13.5nm)的低能量曝光。

? 國產(chǎn)化替代:目前光刻膠(如EUV、ArF浸沒式)長期被日本、美國企業(yè)壟斷,國內(nèi)正加速研發(fā)突破。

光刻膠的性能直接影響芯片制造的良率和精度,是支撐微電子產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”材料之一。
標簽: 錫片 光刻膠