國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)程加速
日本信越化學(xué)因地震導(dǎo)致KrF光刻膠產(chǎn)能受限后,國(guó)內(nèi)企業(yè)加速驗(yàn)證本土產(chǎn)品。鼎龍股份潛江工廠的KrF/ArF產(chǎn)線2024年12月獲兩家大廠百萬(wàn)大單,二期300噸生產(chǎn)線在建。武漢太紫微的T150A光刻膠性能參數(shù)接近日本UV1610,已通過(guò)中芯國(guó)際14nm工藝驗(yàn)證。預(yù)計(jì)到2025年,國(guó)內(nèi)KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率將從不足5%提升至10%。
原材料國(guó)產(chǎn)化突破
光刻膠樹(shù)脂占成本50%-60%,八億時(shí)空的光刻膠樹(shù)脂產(chǎn)線預(yù)計(jì)2025年實(shí)現(xiàn)百噸級(jí)量產(chǎn),其產(chǎn)品純度達(dá)到99.999%,金屬雜質(zhì)含量低于1ppb。怡達(dá)股份作為全球電子級(jí)PM溶劑前段(市占率超40%),與南大光電合作開(kāi)發(fā)配套溶劑,打破了日本關(guān)東化學(xué)的壟斷。這些進(jìn)展使光刻膠生產(chǎn)成本降低約20%。
供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)緩解
合肥海關(guān)通過(guò)“空中專(zhuān)線”保障光刻膠運(yùn)輸,將進(jìn)口周期從28天縮短至17天,碳排放減少18%。國(guó)內(nèi)在建12座光刻膠工廠(占全球總數(shù)58%),預(yù)計(jì)2025年產(chǎn)能達(dá)3000噸/年,較2023年增長(zhǎng)150%。
松山湖半導(dǎo)體材料廠家吉田,全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn)!沈陽(yáng)3微米光刻膠生產(chǎn)廠家
依托自主研發(fā)與國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈,吉田半導(dǎo)體 LCD 光刻膠市占率達(dá) 15%,躋身國(guó)內(nèi)前段企業(yè)。吉田半導(dǎo)體 YK-200 LCD 正性光刻膠采用國(guó)產(chǎn)樹(shù)脂與單體,實(shí)現(xiàn) 100% 國(guó)產(chǎn)化替代。其分辨率 0.35μm,附著力 > 3N/cm,性能優(yōu)于 JSR 的 AR-P310 系列。通過(guò)與國(guó)內(nèi)多家大型企業(yè)的深度合作,產(chǎn)品覆蓋智能手機(jī)、電視等顯示終端,年供貨量超 200 噸。公司建立國(guó)產(chǎn)原材料溯源體系,確保每批次產(chǎn)品穩(wěn)定性,推動(dòng) LCD 面板材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。
寧波納米壓印光刻膠價(jià)格光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,23 年研發(fā)經(jīng)驗(yàn),全自動(dòng)化生產(chǎn)保障品質(zhì)!
定義與特性
負(fù)性光刻膠是一種在曝光后,未曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案相反的圖形。與正性光刻膠相比,其主要特點(diǎn)是耐蝕刻性強(qiáng)、工藝簡(jiǎn)單、成本低,但分辨率較低(通?!?μm),主要應(yīng)用于對(duì)精度要求相對(duì)較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場(chǎng)景。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
基體樹(shù)脂:
? 早期以聚異戊二烯橡膠(天然或合成)為主,目前常用環(huán)化橡膠(Cyclized Rubber)或聚乙烯醇肉桂酸酯,提供膠膜的機(jī)械強(qiáng)度和耐蝕刻性。
光敏劑:
? 主要為雙疊氮化合物(如雙疊氮芪)或重氮醌類(lèi)衍生物,占比約5%-10%,吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應(yīng)。
交聯(lián)劑:
? 如六亞甲基四胺(烏洛托品),在曝光后與樹(shù)脂發(fā)生交聯(lián),形成不溶性網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
溶劑:
? 多為有機(jī)溶劑(如二甲苯、環(huán)己酮),溶解樹(shù)脂和光敏劑,涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜。
工作原理
曝光前:光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹(shù)脂中,膠膜可溶于顯影液(有機(jī)溶劑)。
曝光時(shí):
? 光敏劑吸收紫外光(G線436nm為主)后產(chǎn)生活性自由基,引發(fā)交聯(lián)劑與樹(shù)脂分子間的共價(jià)鍵交聯(lián),使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
顯影后:
? 未曝光區(qū)域的樹(shù)脂因未交聯(lián),被顯影液溶解去除,曝光區(qū)域保留,形成負(fù)性圖案(與掩膜版相反)。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司以全球化視野布局市場(chǎng),通過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量管控與完善的服務(wù)體系贏得客戶信賴。公司產(chǎn)品不僅通過(guò) ISO9001 認(rèn)證,更以進(jìn)口原材料和精細(xì)化生產(chǎn)流程保障品質(zhì),例如錫膏產(chǎn)品采用無(wú)鹵無(wú)鉛配方,符合環(huán)保要求,適用于電子產(chǎn)品制造。其銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)覆蓋全球,與富士康、聯(lián)想等企業(yè)保持長(zhǎng)期合作,并在全國(guó)重點(diǎn)區(qū)域設(shè)立辦事處,提供本地化技術(shù)支持與售后服務(wù)。
作為廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè),吉田半導(dǎo)體始終將技術(shù)研發(fā)視為核心競(jìng)爭(zhēng)力。公司投入大量資源開(kāi)發(fā)新型光刻膠及焊接材料,例如 BGA 助焊膏和針筒錫膏,滿足精密電子組裝的需求。同時(shí),依托東莞 “世界工廠” 的產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢(shì),公司強(qiáng)化供應(yīng)鏈協(xié)同,縮短交付周期,為客戶提供高效解決方案。未來(lái),吉田半導(dǎo)體將持續(xù)深化技術(shù)創(chuàng)新與全球合作,助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高臺(tái)階。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體。
原料準(zhǔn)備
? 主要成分:樹(shù)脂(成膜劑,如酚醛樹(shù)脂、聚酰亞胺等)、感光劑(光引發(fā)劑或光敏化合物,如重氮萘醌、光刻膠單體)、溶劑(溶解成分,如丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA))、添加劑(調(diào)節(jié)粘度、感光度、穩(wěn)定性等,如表面活性劑、穩(wěn)定劑)。
? 原料提純:對(duì)樹(shù)脂、感光劑等進(jìn)行高純度精制(純度通常要求99.9%以上),避免雜質(zhì)影響光刻精度。
配料與混合
? 按配方比例精確稱量各組分,在潔凈環(huán)境,如萬(wàn)中通過(guò)攪拌機(jī)均勻混合,形成膠狀溶液。
? 控制溫度(通常20-30℃)和攪拌速度,避免氣泡產(chǎn)生或成分分解。
過(guò)濾與純化
? 使用納米級(jí)濾膜(孔徑0.05-0.2μm)過(guò)濾,去除顆粒雜質(zhì)(如金屬離子、灰塵),確保膠液潔凈度,避免光刻時(shí)產(chǎn)生缺陷。
性能檢測(cè)
? 物理指標(biāo):粘度、固含量、表面張力、分子量分布等,影響涂布均勻性。
? 化學(xué)指標(biāo):感光度、分辨率、對(duì)比度、耐蝕刻性,通過(guò)曝光實(shí)驗(yàn)和顯影測(cè)試驗(yàn)證。
? 可靠性:存儲(chǔ)穩(wěn)定性(常溫/低溫保存下的性能變化)、耐溫性(烘烤過(guò)程中的抗降解能力)。
包裝與儲(chǔ)存
? 在惰性氣體(如氮?dú)猓┉h(huán)境下分裝至避光容器(如棕色玻璃瓶或鋁罐),防止感光劑氧化或光分解。
? 儲(chǔ)存條件:低溫(5-10℃)、避光、干燥,部分產(chǎn)品需零下環(huán)境(如EUV光刻膠)。
半導(dǎo)體芯片制造,用于精細(xì)電路圖案光刻,決定芯片性能與集成度。寧波納米壓印光刻膠價(jià)格
負(fù)性光刻膠生產(chǎn)原料。沈陽(yáng)3微米光刻膠生產(chǎn)廠家
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全品類(lèi)覆蓋
吉田半導(dǎo)體產(chǎn)品線涵蓋正性 / 負(fù)性光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠、厚膜光刻膠及水性光刻膠等,覆蓋芯片制造、顯示面板、PCB 及微納加工等多領(lǐng)域需求,技術(shù)布局全面性于多數(shù)國(guó)內(nèi)廠商。
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關(guān)鍵技術(shù)突破
納米壓印技術(shù):JT-2000 納米壓印光刻膠耐高溫達(dá) 250℃,支持納米級(jí)精度圖案復(fù)制,適用于第三代半導(dǎo)體(GaN/SiC)及 Mini LED 等新興領(lǐng)域,技術(shù)指標(biāo)接近國(guó)際先進(jìn)水平。
水性環(huán)保配方:JT-1200 水性感光膠以水為溶劑替代傳統(tǒng)有機(jī)溶劑,低 VOC 排放,符合 RoHS 和 REACH 標(biāo)準(zhǔn),環(huán)保性能優(yōu)于同類(lèi)產(chǎn)品。
厚膜工藝能力:JT-3001 厚板光刻膠膜厚可控(達(dá)數(shù)十微米),滿足高密度像素陣列及 MEMS 器件的制造需求。
沈陽(yáng)3微米光刻膠生產(chǎn)廠家