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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-10-27

本篇介紹專(zhuān)業(yè)全自動(dòng)HMDS真空烤箱,首先簡(jiǎn)單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍告訴您試驗(yàn)箱如何去使用呢?哪里有試驗(yàn)箱市面價(jià)

真空烘箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空烘箱的特點(diǎn)。1.長(zhǎng)方體工作室,使有效容積達(dá)到相當(dāng)大,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內(nèi)高真空度4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5.儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿(mǎn)惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化。6.相當(dāng)短加熱時(shí)間,與傳統(tǒng)干燥烘箱比加熱時(shí)間減少50%以上。真空烘箱因?yàn)槭怯呻娏μ峁崮?,而濕的物品是?huì)導(dǎo)電的,故在使用上宜小心不要有漏電的現(xiàn)象發(fā)生,故一般烘箱都要接地使用,以保安全。若沒(méi)有地線(xiàn)也要確認(rèn)烘箱沒(méi)有漏電的現(xiàn)象;若有輕微的漏電現(xiàn)象,可試著將插座拔起后將插腳以相反方向再插入,若沒(méi)有漏電現(xiàn)象可小心使用,若仍有漏電現(xiàn)象則應(yīng)立即停用。北京高低溫快速試驗(yàn)箱上海哪家試驗(yàn)箱值得信賴(lài)?

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類(lèi)似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統(tǒng)配置。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無(wú)2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min

下面為大家介紹一下石墨盤(pán)真空烤盤(pán)爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;5.控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無(wú)油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級(jí);9.抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)試驗(yàn)箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。

下面為大家介紹一下全自動(dòng)HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:0.5℃4.真空泵:油泵或無(wú)油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。試驗(yàn)箱常見(jiàn)的用途有哪些?合肥真萍告訴您。大型試驗(yàn)箱產(chǎn)品區(qū)分鑒別方法

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真空干燥箱是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕,使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),降低水的沸點(diǎn),加快干燥的速度。下面為大家介紹一下真萍科技真空干燥箱的特點(diǎn)。1.長(zhǎng)方體工作室,增加有效容積,微電腦溫度控制器,精確控溫。2.雙層玻璃視窗觀察工作室內(nèi)物體,一目了然。3.箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,確保箱內(nèi)高真空度。4.工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5.儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿(mǎn)惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化。6.真空程序分段控制,該型號(hào)機(jī)型,抽真空過(guò)程可提供程序化編程,根據(jù)客戶(hù)要求編輯設(shè)定真空值,保壓時(shí)間值??蓪?shí)現(xiàn)多段抽真空和保壓編程。哪里有試驗(yàn)箱市面價(jià)

上海矽旺電子科技有限公司專(zhuān)注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。一批專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:電子科技,機(jī)械科技,機(jī)電科技,電氣科技等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨,深受客戶(hù)好評(píng)。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿(mǎn)的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,樹(shù)立了良好的電子科技,機(jī)械科技,機(jī)電科技,電氣科技形象,贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。