干式真空泵所體現(xiàn)出的應(yīng)用水平:目前,真空工業(yè)關(guān)注的是干式真空泵基產(chǎn)品,這種性能在設(shè)備的各個(gè)方面都很先進(jìn),國(guó)外整體影響相對(duì)較大,從產(chǎn)品的整體開(kāi)發(fā)來(lái)看,它也非常適合國(guó)內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)和應(yīng)用,有效的節(jié)能減排優(yōu)勢(shì),對(duì)企業(yè)的生產(chǎn)和管理起到了非常重要的作用。從國(guó)內(nèi)產(chǎn)品的生產(chǎn)能力來(lái)看,生產(chǎn)企業(yè)非常熱衷于開(kāi)發(fā)這類(lèi)產(chǎn)品,如果設(shè)備能夠國(guó)產(chǎn)化,這是整個(gè)產(chǎn)品的價(jià)格優(yōu)勢(shì)得到提升。干式真空泵**顯著的能力是不用水制造介質(zhì),與傳統(tǒng)真空設(shè)備相比,能夠有效節(jié)約水資源,減少企業(yè)能源消耗,使企業(yè)生產(chǎn)更加環(huán)保,提高企業(yè)生產(chǎn)發(fā)展能力。同時(shí),在不斷發(fā)展的優(yōu)勢(shì)下,干式泵的性能充分反映了其自身的優(yōu)勢(shì),提高了產(chǎn)品應(yīng)用和開(kāi)發(fā)能力的重要性,滿(mǎn)足了企業(yè)生產(chǎn)的需要,加強(qiáng)了技術(shù)優(yōu)勢(shì)能力的不斷提升,提高了產(chǎn)品生產(chǎn)能力的有效顯示。以干式真空泵的整體水平,加快生產(chǎn)能力,提高其應(yīng)用性能的各個(gè)方面,根據(jù)國(guó)內(nèi)工業(yè)現(xiàn)狀,增加對(duì)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的投資,積極學(xué)習(xí)各個(gè)方面的先進(jìn)技術(shù),提高自主開(kāi)發(fā)能力,從而體現(xiàn)干式泵的性能。干式真空泵的結(jié)構(gòu)與特點(diǎn):干式真空泵的結(jié)構(gòu)(1)泵類(lèi)型的整體結(jié)構(gòu)真空泵的泵體的布置決定了泵的整體結(jié)構(gòu)。入口和出口水平的垂直結(jié)構(gòu)設(shè)置,組裝和連接線(xiàn)更方便。但泵重心高。沃德氣體技術(shù)力量雄厚,工裝設(shè)備和檢測(cè)儀器齊備,檢驗(yàn)與實(shí)驗(yàn)手段完善。天津多級(jí)干式真空泵型號(hào)
應(yīng)維修電機(jī),重新繞制定子線(xiàn)圈。軸承和線(xiàn)圈損壞嚴(yán)重時(shí),應(yīng)更換電機(jī)。2、旋片卡阻。主要表現(xiàn)為旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過(guò)大,致使電機(jī)無(wú)法帶動(dòng)轉(zhuǎn)子(旋片)。其原因是旋片變形,轉(zhuǎn)子內(nèi)的彈簧張開(kāi)后不能復(fù)位,或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過(guò)大,導(dǎo)致旋片與泵腔內(nèi)表面的摩擦阻力過(guò)大。這時(shí)應(yīng)當(dāng)修復(fù)旋片和彈簧,不能修復(fù)時(shí),更換二者。真空泵有哪些密封要求真空泵是常見(jiàn)的真空設(shè)備,那么,真空泵有哪些密封要求呢?真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵。青海VPS干式真空泵型號(hào)沃德氣體生產(chǎn)的設(shè)備產(chǎn)品質(zhì)量上乘。
同時(shí)增壓泵運(yùn)轉(zhuǎn)。油井內(nèi)設(shè)有油位開(kāi)關(guān),當(dāng)油井進(jìn)人真空泵油或變壓器油時(shí)控制面板上的蜂嗚器將自動(dòng)報(bào)警,同時(shí)系統(tǒng)關(guān)閉。3、關(guān)機(jī)停運(yùn)關(guān)閉高真空蝶閥一關(guān)閉機(jī)械增壓泵一關(guān)閉真空泵一按急停按鈕,控制電源關(guān)閉一關(guān)主電源斷路器。當(dāng)控制方式通過(guò)控制盤(pán)上的旋鈕轉(zhuǎn)換到自動(dòng)位置時(shí),設(shè)備將通過(guò)真空繼電器的預(yù)設(shè)控制點(diǎn)自動(dòng)控制真空泵和機(jī)械增壓泵的關(guān)閉和啟動(dòng)。真空泵有哪些分類(lèi)真空泵有哪些分類(lèi)呢?1、往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱(chēng)為粗抽泵或前級(jí)泵。把系統(tǒng)中空氣抽除到某一需要的工作壓強(qiáng)稱(chēng)為對(duì)該系統(tǒng)粗抽。在另一泵的出口處保持的一個(gè)所需的低壓強(qiáng)稱(chēng)為前級(jí)壓強(qiáng)。機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級(jí)泵。2、只往低于大氣壓的環(huán)境中排氣的泵。這種泵需要一個(gè)前級(jí)泵(申聯(lián))向大氣中排氣。擴(kuò)散泵、羅茨泵及分子泵均屬于這種類(lèi)型。它們都需要一個(gè)前級(jí)泵。3、可束縛住系統(tǒng)中的氣體和蒸汽的泵。這種泵不需要出氣口,是根據(jù)電離或吸著原理制成的。真空泵漏油時(shí)如何解決真空泵漏油時(shí)如何解決呢?機(jī)械真空泵漏油部位多在軸封、放油孔、油窗、油箱等處,主要原因是磨損時(shí)間過(guò)長(zhǎng),密封件損壞或裝配不良—未壓緊和上緊螺釘時(shí)用力不均—而造成。發(fā)現(xiàn)某處漏油時(shí)。
連接管的口徑不能小于真空泵進(jìn)氣口的內(nèi)徑,否則會(huì)影響抽速,但必須小于進(jìn)氣口的外徑,否則影響密封度。被抽容積不能過(guò)于大,一般會(huì)選用泵的抽速以秒為單位的15-20倍。在活動(dòng)的接頭處,涂上真空脂,以增強(qiáng)其密封度。4、接上電源,裝接電線(xiàn)時(shí),要注意電機(jī)銘牌上的接線(xiàn)規(guī)定的要求。真空泵如何安全操作真空泵是常見(jiàn)的真空設(shè)備,而且是很多實(shí)驗(yàn)室的輔助設(shè)備,那么,真空泵如何安全操作呢?1、操作前的準(zhǔn)備工作首先應(yīng)將設(shè)備放置在水平、通風(fēng)、干燥處,將真空機(jī)組抽氣口與被抽系統(tǒng)連接好,密封一定要嚴(yán)密,不應(yīng)有泄漏點(diǎn)存在。檢查真空泵和羅茨泵內(nèi)的油位及油杯中的潤(rùn)滑油是否符合要求,連接好電源線(xiàn)和接地線(xiàn)。檢查是否有其他不安全因素。2、操作機(jī)組的啟動(dòng)運(yùn)行接通主電源開(kāi)關(guān),主電源指示燈亮;將控制方式放在手動(dòng)或自動(dòng)位置;按下控制電源按鈕,指示燈亮(真空泵、增壓泵和急停按鈕應(yīng)復(fù)位,否則控制電源按鈕無(wú)法接通),如電源相序錯(cuò)誤黃色指示燈亮,則需換相。將真空泵斷路器接通,按下真空泵控制按鈕,真空泵指示燈亮,同時(shí)真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)。根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)增壓泵的延時(shí)(通過(guò)時(shí)間繼電器,調(diào)節(jié)范圍在1—6分鐘)。將增壓泵斷路器接通,按下增壓泵控制按鈕,增壓泵指示燈亮。沃德氣體銳意進(jìn)取,持續(xù)創(chuàng)新為各行各業(yè)提供專(zhuān)業(yè)化服務(wù)。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是較廣的,主要有以下幾個(gè)方面: 1 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中; 2 半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒; 3 除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求; 4 在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵; 5 用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。沃德氣體受行業(yè)客戶(hù)的好評(píng),值得信賴(lài)。遼寧斡旋干式真空泵型號(hào)
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干式真空泵分類(lèi)編輯干式真空泵主要有下列幾種形式:雙圓裂片式雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前當(dāng)行和普遍應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上,一些**早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜,并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí),為了達(dá)到好的真空度,對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然,這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同,只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量,在傳動(dòng)部分有的廠(chǎng)家選用兩個(gè)直流馬達(dá),但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小,重新啟動(dòng)的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣,三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦?lái)起到稀釋和隔離作用。組合式(羅茨+爪)組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠(chǎng)家將其一級(jí)改為星型設(shè)計(jì),這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中。天津多級(jí)干式真空泵型號(hào)
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