氣體質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體集成電路工藝電路及光纖熔煉等方面的應(yīng)用打破了行業(yè)的固有發(fā)展模式。特別是某些服務(wù)完善的氣體質(zhì)量流量控制器的普及與應(yīng)用促使行業(yè)的加工工藝發(fā)生了重大變革,氣體質(zhì)量流量控制器出廠前需滿足耐氣壓要求:據(jù)市場反饋不同種類的氣體質(zhì)量流量控制器具有不同的耐氣壓要求。據(jù)統(tǒng)計(jì)流量控制器的耐氣壓分為1MPa、3MPa、10Mpa這三種,現(xiàn)今較為常用的是10Mpa的差壓氣體質(zhì)量流量控制器,它可通過流體流經(jīng)節(jié)流裝置時(shí)管道所產(chǎn)生的壓力差作為流量測量的依據(jù)。氣體質(zhì)量流量控制器用于對于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
在使用氣體質(zhì)量流量控制器時(shí)的注意事項(xiàng):加裝過濾器:使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時(shí)加裝過濾器,如果流量計(jì)出口接有液體源瓶,應(yīng)在流量計(jì)出口加裝單向閥,防止液體回流損壞流量計(jì)。使用腐蝕性氣體:流量計(jì)通道采用的材料為:氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當(dāng)?shù)臈l件下,可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體時(shí),應(yīng)在定貨時(shí)聲明。使用特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應(yīng)改變。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用于制氣配氣行業(yè)。
工業(yè)和科研實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常會使用到氣體質(zhì)量流量控制器,本裝置主要是通過控制氣體流量的大小來進(jìn)行一個(gè)氣體濃度的調(diào)節(jié),那么用戶在選擇氣體配比裝置時(shí),關(guān)于氣體的總流量大小應(yīng)該如何確認(rèn)和選擇呢?有沒有什么簡單的測量方法?第1種情況:用戶在明確知道所需總流量和濃度的情況下,只需要向公司的銷售和技術(shù)人員說明即可。第2種情況:用戶只知道流量但是不知道濃度的情況下,我公司產(chǎn)品可按照比例范圍或流量大小,直接開放濃度稀釋設(shè)置,用戶在使用時(shí)自行調(diào)節(jié)設(shè)置濃度即可。第3種情況:用戶只知道濃度稀釋范圍,但是不知道流量大小,公司技術(shù)人員可根據(jù)現(xiàn)場使用工裝或用簡易的流量測量方式,即可確定流量。
氣體質(zhì)量流量控制器,即MassflowController(縮寫為MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,它本身還能夠自動控制氣體的流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動的將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度變化,也不會使其偏離其設(shè)定值。簡單的說,氣體質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置,是一個(gè)可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。氣體流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。對于多數(shù)氣體測量控制系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。熱式氣體質(zhì)量流量控制器安裝時(shí)盡量保持安裝面水平,非水平安裝時(shí)如發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移,可調(diào)整零點(diǎn)后再工作。
氣體質(zhì)量流量控制器的常見類型:渦輪流量計(jì),是速度式流量計(jì)中的主要種類,它采用多葉片的轉(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流速,從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。超聲流量計(jì),通過檢測流體流動對超聲束(或超聲脈沖)的作用以測量流量的儀表。電磁流量計(jì),電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計(jì)有一系列優(yōu)良特性,可以解決其它流量計(jì)不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。熱式流量計(jì),熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件,一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí),電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。氣體質(zhì)量流量控制器響應(yīng)快。天津高精度氣體質(zhì)量流量控制器價(jià)格
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用于泄露監(jiān)測。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
一般造成熱式氣體質(zhì)量流量控制器零點(diǎn)漂移的因素有許多,解決熱式氣體質(zhì)量流量控制器零漂問題,首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調(diào)整,二是需要和工藝配合來解決。一般情況下,管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動也會導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)的零點(diǎn)漂移,出現(xiàn)這種漂移時(shí),要關(guān)閉熱式氣體質(zhì)量流量控制器或流量計(jì)前段的電磁閥(流量控制器不能當(dāng)做截止閥來使用),使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當(dāng)位置設(shè)置排氣口,消除管道內(nèi)的壓力和氣流,從而達(dá)到消除零點(diǎn)漂移。如果是零點(diǎn)出現(xiàn)大幅漂移,而且每次漂移差別很大,就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留,需要打開各種閥門,全部排空氣體管路,防止設(shè)備或管路憋壓。浙江M2030VA氣體質(zhì)量流量控制器生產(chǎn)廠家
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