熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)發(fā)展歷史及原理：發(fā)展歷史：通過(guò)認(rèn)真研究分析，一種基于熱傳導(dǎo)效應(yīng)原理的新型儀表進(jìn)入了我們的視線，這種儀表就是熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。雖然是新型儀表，但是其測(cè)量原理在20世紀(jì)早就提出，20世紀(jì)80年代，在一些發(fā)達(dá)國(guó)家熱傳導(dǎo)技術(shù)已經(jīng)開(kāi)始用于氣體質(zhì)量流量的測(cè)量。不過(guò)由于受微電子技術(shù)所限，當(dāng)時(shí)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)存在很多缺陷，例如響應(yīng)速度慢，易受干擾等，所有只在一些特殊場(chǎng)合應(yīng)用于小流量監(jiān)測(cè)，或者作為流量開(kāi)關(guān)使用。氣體質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)：防振動(dòng)。河北數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)支持

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器RH被加熱，另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與氣體質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。P/△T=K1+K2f(Q)K3K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)獨(dú)特的溫度差測(cè)量方式克服了采用恒溫差原理的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量煤氣流量時(shí)因煤氣中含水、油和雜質(zhì)而造成的很大的零點(diǎn)漂移，導(dǎo)致無(wú)法測(cè)量的弊端。它也可以用于測(cè)量濕氣體的氣體質(zhì)量流量，如礦井下瓦斯抽放、送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)中的風(fēng)量（速）的實(shí)時(shí)檢測(cè)。江西防爆式氣體質(zhì)量流量計(jì)報(bào)價(jià)氣體質(zhì)量流量計(jì)可應(yīng)用于煙囪排出的煙氣流量（速）測(cè)量（CEMS）。

氣體質(zhì)量流量計(jì)行業(yè)發(fā)展情況：熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)以及應(yīng)用行業(yè)：半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用半導(dǎo)體工業(yè)曾是熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)主要服務(wù)對(duì)象，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是應(yīng)承半導(dǎo)體業(yè)需求的推動(dòng)而得到蓬勃發(fā)展，應(yīng)用于擴(kuò)散、氧化、外延、等離子刻蝕、濺射等工藝設(shè)備中，測(cè)量和控制超凈氣體或腐蝕/有害氣體流量，如氫、氨、氟化氫、三氟化氮、氧化氮、砷化三氫、磷化氫。熱消散效應(yīng)侵入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，該類儀表應(yīng)用于較大管徑，除測(cè)量潔凈氣體外還可測(cè)量存在一些塵粒的粗放氣體，如煙道氣等。

熱式氣質(zhì)量流量計(jì)性能需思考的問(wèn)題：熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的流量應(yīng)以單位時(shí)間流過(guò)的質(zhì)量來(lái)表示，但測(cè)量氣時(shí)習(xí)慣上亦常以計(jì)算到標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下單位時(shí)間流過(guò)的體積表示。流量亦以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下單位時(shí)間流過(guò)距離的長(zhǎng)度表示。與其他流量計(jì)相比，熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)適用在低流量范圍，特別是小口徑熱分布式;帶測(cè)量短管浸入檢測(cè)桿式可選上限流量范圍較寬，上限范圍度在10~30和60~80中間。插入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的上限流量選擇范圍較寬，可在0.5~100m/s,但較多用在3~60m/s中間，視儀表結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)而異。插入式TMF適用在低流量煙道氣測(cè)量。液體用熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的上限流量很小，國(guó)外現(xiàn)有產(chǎn)品上限流量范圍在10-1~102g/min數(shù)量級(jí)中間;流量范圍度在10:1~50:1中間。以上是人們?cè)谑褂脽崾綒怏w質(zhì)量流量計(jì)的時(shí)候需要考慮的問(wèn)題，注意了這些基本的常識(shí)，這樣才能使用的過(guò)程中避免一些常識(shí)性的錯(cuò)誤，這樣它的作用就能得到較大限度的發(fā)揮出來(lái)。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)要按照流量計(jì)的精度等級(jí)和經(jīng)濟(jì)性選型。

氣體渦街氣體質(zhì)量流量計(jì)輸出的脈沖頻率信號(hào)不受流體物性和組分變化的影響，即儀表系數(shù)在一定雷諾數(shù)范圍內(nèi)但與旋渦發(fā)生體及管道的形狀尺寸等有關(guān)。但是作為氣體質(zhì)量流量計(jì)在物料平衡及能源計(jì)量中需檢測(cè)氣體質(zhì)量流量，這時(shí)氣體質(zhì)量流量計(jì)的輸出信號(hào)應(yīng)同時(shí)監(jiān)測(cè)體積流量和流體密度，流體物性和組分對(duì)氣體質(zhì)量流量計(jì)量還是有直接影響的。氣體渦街氣體質(zhì)量流量計(jì)便是依據(jù)卡門旋渦原理進(jìn)行封閉管道流體流量測(cè)量的新型氣體質(zhì)量流量計(jì)。因其具有良好的介質(zhì)適應(yīng)能力，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償即可直接測(cè)量蒸汽、空氣、氣體、水、液體的工況體積流量，配備溫度、壓力傳感器可測(cè)量標(biāo)況體積流量和氣體質(zhì)量流量，是節(jié)流式氣體質(zhì)量流量計(jì)的理想替代產(chǎn)品。氣體質(zhì)量流量計(jì)可應(yīng)用于焦化廠焦?fàn)t煤氣的測(cè)量。廣西量熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)公司

氣體質(zhì)量流量計(jì)可以用來(lái)測(cè)量其它普通流量計(jì)無(wú)法測(cè)量的領(lǐng)域。河北數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)支持

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用場(chǎng)合，公用工程---電﹑氣﹑水處理的監(jiān)控：管道的氣體、通用系統(tǒng)、沼氣、煤氣、天然氣、液化氣和鍋爐預(yù)熱空氣。石油與天然氣工業(yè)：能量交換、填井氣回收、燃?xì)庥?jì)量、氣體質(zhì)量分析、泄漏氣測(cè)試、天然氣測(cè)量、火炬氣的監(jiān)控。電力行業(yè)：燃料系統(tǒng)中氣體分配過(guò)程中的氣體測(cè)量、鍋爐及輔助系統(tǒng)中各種氣體的測(cè)量、燃?xì)鉅t中氣體測(cè)量、氫氣測(cè)量、電廠高爐的一次風(fēng)和二次風(fēng)的測(cè)量。化學(xué)行業(yè)：煙氣循環(huán)監(jiān)測(cè)、采樣系統(tǒng)中氣體流量計(jì)量、引風(fēng)機(jī)的氣體流量計(jì)量、化肥廠氨氣測(cè)量和電池工廠各種氣體流量測(cè)量。河北數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)支持

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