為什么等離子設(shè)備上需要使用熱式氣體質(zhì)量流量控制器?隨著等離子行業(yè)的快速發(fā)展,熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各種等離子設(shè)備中普遍使用,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的主要作用是準(zhǔn)確的控制和調(diào)節(jié)氣體的進(jìn)氣流量,等離子設(shè)備中需要注入和填充的混合氣體,以保證更好的產(chǎn)品性能,就需要更高精度和穩(wěn)定性好的氣體質(zhì)量流量控制器。等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)。氣體質(zhì)量流量控制器組成配件有放大控制器。陜西模擬式氣體質(zhì)量流量控制器哪家質(zhì)量好
氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于模擬的MFC,一般需要在計(jì)算機(jī)上配A/D、D/A轉(zhuǎn)換板,模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換用于接收流量測(cè)量值,數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換用于給出0-5VDC流量設(shè)定信號(hào),這種轉(zhuǎn)換板在工業(yè)控制產(chǎn)品市場(chǎng)上很容易買到;如果是MFC直接與計(jì)算機(jī)連接,需要用戶自己提供±15V電源(要求電源抗干擾能力要強(qiáng));將“設(shè)定”線接計(jì)算機(jī)D/A輸出;將“流量檢測(cè)”線接計(jì)算機(jī)A/D輸入端;MFC信號(hào)地與計(jì)算機(jī)信號(hào)線連結(jié)即可。如果MFC通過(guò)流量顯示儀與計(jì)算機(jī)連接,將流量顯示儀的“外設(shè)”線接計(jì)算機(jī)D/A輸出;將“流量檢測(cè)”線接計(jì)算機(jī)A/D輸入端;顯示儀的信號(hào)地與計(jì)算機(jī)信號(hào)線連結(jié)即可。陜西數(shù)顯式氣體質(zhì)量流量控制器廠家報(bào)價(jià)氣體質(zhì)量流量控制器組成配件有分流器通道。
氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制;氣體質(zhì)流量計(jì)用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量。氣體質(zhì)量流量控制器常用于擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜等設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造的設(shè)備中。氣體質(zhì)量流量控制器經(jīng)常被用于石油化工,冶金,制藥等。氣體質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn):氣體質(zhì)量流量控制器精度高,重復(fù)性好。
氣體質(zhì)量流量控制器在測(cè)量過(guò)程中,以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量;反之,在確定所購(gòu)產(chǎn)品的量程時(shí),以實(shí)際使用氣體的較大期望流量值除以轉(zhuǎn)換系數(shù),即是相應(yīng)的氮?dú)鈽?biāo)定產(chǎn)品的流量值??諝?、02、H2、CO、HCL、HF等氣體,其轉(zhuǎn)換系數(shù)約為1.0,一般可直接用按氮?dú)鈽?biāo)定顯示的產(chǎn)品,不必?fù)Q算。計(jì)算機(jī)可以直接和MFC相連,也可以通過(guò)流量顯示儀ReadoutBox和MFC相連。溫度影響:用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫,溫度影響必須考慮;介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會(huì)改變測(cè)量振動(dòng)管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。氣體質(zhì)量流量控制器不易堵塞。
質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))具有如下特點(diǎn):1、可以應(yīng)用于從真空到高壓工作環(huán)境下,且流量不隨溫度和壓力的影響。2、主體材料選擇不銹鋼316L結(jié)構(gòu),密封材料采用氟橡膠、丁腈橡膠、聚四氟乙烯等,適用于各種腐蝕性氣體。3、具有精度高、重復(fù)性好、快速響應(yīng)、工作穩(wěn)定可靠。4、+15V...24VDC寬電源供電,0...5VDC電壓信號(hào)或4...20mA電流信號(hào)輸入輸出、可選數(shù)字控制方式,RS485總線、開放的MODBUS-RTU協(xié)議。5、可配合流量顯示儀或其他形式的二次儀表進(jìn)行控制、操作簡(jiǎn)便。氣體質(zhì)量流量控制器高壓條件下正常使用需要注意選擇耐壓符合要求的MFC。吉林?jǐn)?shù)字氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)支持
氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用于制氣配氣行業(yè)。陜西模擬式氣體質(zhì)量流量控制器哪家質(zhì)量好
氣體質(zhì)量流量控制器有如下優(yōu)點(diǎn):1.創(chuàng)新型控制閥設(shè)計(jì)與信號(hào)處理技術(shù);2.高度穩(wěn)定的流量控制,受過(guò)程波動(dòng)的影響極低;3.可預(yù)置多種氣體曲線并根據(jù)需要設(shè)定量程范圍;4.對(duì)機(jī)械沖擊和壓力波動(dòng)具有耐受性;5.可實(shí)現(xiàn)多種通訊方式及客戶定制的I/O功能。如果發(fā)現(xiàn)氣體質(zhì)量流量控制器在運(yùn)行時(shí)不能正常工作,請(qǐng)先做以下檢查1、接線不正確,這時(shí)需要檢查供電電源、控制反饋信號(hào)、控制地等接線是否和接線定義要求一致;2、配氣、出氣壓力是否和訂貨時(shí)壓力范圍一致;3、配氣管道有無(wú)堵塞或折彎瓶頸;4、使用氣體是否干燥潔凈,有無(wú)雜質(zhì),是否有油、氣等易產(chǎn)生污染的雜質(zhì);5、控制反饋信號(hào),是否滿足產(chǎn)品使用范圍,比如在關(guān)閉時(shí),模擬控制信號(hào)設(shè)定應(yīng)該為0V。以上幾個(gè)問(wèn)題,如果是接線問(wèn)題,在沒(méi)有損壞氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部電路板的情況下,更改接線便可以正常工作,如果損壞電路板,或者有控制器內(nèi)部傳感器污染問(wèn)題,請(qǐng)盡快返廠家進(jìn)一步分析維修。陜西模擬式氣體質(zhì)量流量控制器哪家質(zhì)量好
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