半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的要求重要的一點(diǎn)就是高精度,傳統(tǒng)的氣體質(zhì)量流量控制器在使用一段時(shí)間后,由于環(huán)境溫度、氣體污染等原因,有可能出現(xiàn)精度超差的現(xiàn)象,但由于檢測(cè)條件的限制,用戶無(wú)法對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗(yàn)。因此需要研究一種自我診斷技術(shù),通過(guò)該技術(shù),用戶可以隨時(shí)對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗(yàn)。增加氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷功能,需要通過(guò)初級(jí)流量測(cè)量原理獲得流量。若Qm為氣體的質(zhì)量流量,可以根據(jù)壓力、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時(shí)間的變化曲線建立氣體質(zhì)量流量控制器的精度對(duì)應(yīng)表,進(jìn)行自我診斷過(guò)程中,與該表格信息進(jìn)行對(duì)比,可通過(guò)兩條曲線的相似度判定,系統(tǒng)的精度是否在要求范圍內(nèi)。自我診斷技術(shù)很大程度的提高了氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的可靠性,完善了系統(tǒng)功能。測(cè)量范圍廣是熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)勢(shì)。云南MD30M氣體質(zhì)量流量控制器廠家
憑借類型寬泛的儀表設(shè)備,為許多不同市場(chǎng)的不同應(yīng)用提供創(chuàng)新的解決方案和成套設(shè)備,各類產(chǎn)品按照用戶需求定制,適用于實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)環(huán)境、半導(dǎo)體加工和分析設(shè)備、工業(yè)過(guò)程、醫(yī)療和制藥系統(tǒng)、分析測(cè)試應(yīng)用、生物技術(shù)和化學(xué)裝置等行業(yè)。模擬型和數(shù)字型的氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)除了能在正常的工業(yè)環(huán)境中用于測(cè)控和控制氣體的質(zhì)量流量使用以外,還能集成到各種自動(dòng)化設(shè)備中使用,寬泛使用的設(shè)備主要有動(dòng)態(tài)配氣裝置,模擬型和數(shù)字型的氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)可以快速穩(wěn)定流量調(diào)節(jié),配氣響應(yīng)時(shí)間快。上海熱式氣體質(zhì)量流量控制器廠家氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用于食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制。
在使用氣體質(zhì)量流量控制器時(shí)的注意事項(xiàng):安裝位置問(wèn)題:本控制器安裝時(shí)較好保持安裝面水平,但對(duì)位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平位置安裝時(shí)若發(fā)現(xiàn)零點(diǎn)偏移,可以調(diào)整零點(diǎn)后在工作。閥口密封問(wèn)題:氣體質(zhì)量流量控制器的電磁閥是調(diào)節(jié)閥,不是截止閥,不能當(dāng)截止閥使用,用戶應(yīng)另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體,通常應(yīng)該在氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)出氣口各加一個(gè)截止閥,以保證工作安全。長(zhǎng)期工作后,如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內(nèi),是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%,則應(yīng)進(jìn)行維修。
數(shù)字型熱式氣體質(zhì)量流量控制器目前應(yīng)用在發(fā)動(dòng)機(jī)中,作為一個(gè)控制流量的充系統(tǒng),能夠同時(shí)使用多路4氣體,結(jié)合管道抽真空設(shè)備,以氫氣為工作介質(zhì)的若干設(shè)備和系統(tǒng)的組合,該系統(tǒng)用于滿足對(duì)各種不同狀態(tài)氦氣的需要。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器等產(chǎn)品呈現(xiàn)出多元化的趨勢(shì),針對(duì)不同的用戶、不同的使用環(huán)境而生產(chǎn)各種不一樣的氣路系統(tǒng)和設(shè)備,適用于流量等過(guò)程量的監(jiān)測(cè)和控制,一鍵啟動(dòng),人機(jī)界面,具有靈敏的反應(yīng)速度、易于交流、堅(jiān)固耐用、節(jié)省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前較便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機(jī)交互方式。氣體質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用于產(chǎn)品質(zhì)量的嚴(yán)格控制。
氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷技術(shù)是在不停機(jī)或基本不拆機(jī)的情況下,通過(guò)各種檢測(cè)分析來(lái)判斷設(shè)備狀態(tài)是否正常,異?;蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預(yù)測(cè)。自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設(shè)備的結(jié)果狀態(tài)信息,即根據(jù)設(shè)備在各種工況下,表現(xiàn)出來(lái)的精度超差,零點(diǎn)漂移,內(nèi)漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來(lái)識(shí)別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類型和異常的嚴(yán)重程度,其本質(zhì)是一個(gè)包含信號(hào)采集、信息提取、信息綜合、故障識(shí)別和信息利用的過(guò)程。自我診斷的目標(biāo)是確保產(chǎn)品在功能、精度、效率和可靠性方面均能穩(wěn)定運(yùn)行。熱式氣體質(zhì)量流量控制器基于先進(jìn)的技術(shù),是高精度、高重復(fù)性的儀表系統(tǒng),能解決各種不同的氣體應(yīng)用問(wèn)題。湖北模擬式氣體質(zhì)量流量控制器廠家報(bào)價(jià)
解決熱式氣體質(zhì)量流量控制器零漂問(wèn)題,要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調(diào)整。云南MD30M氣體質(zhì)量流量控制器廠家
客戶在使用氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)時(shí),對(duì)電子線路的要求:在使用氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)時(shí)必須小心按規(guī)定連接系統(tǒng)的接線,不正確的接線會(huì)導(dǎo)致氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)內(nèi)部電路板產(chǎn)生的無(wú)可挽回的損壞。氣體質(zhì)量流量控制器電源需要電壓波動(dòng)小于5mV的高抗干擾穩(wěn)壓電源。氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)氣路的連接:必須仔細(xì)的安裝密封管件,保證所有的密封管件經(jīng)過(guò)單獨(dú)檢查并且沒(méi)有劃痕。禁止自行拆開(kāi)氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)。如果自行拆卸造成損壞,則本公司承諾的保修無(wú)效。云南MD30M氣體質(zhì)量流量控制器廠家