渦輪分子泵的工作原理是在電機(jī)的帶動(dòng)下，動(dòng)葉輪高速旋轉(zhuǎn)（動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度，一般為150~400米/秒）。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片表面碰撞，動(dòng)量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。

啟動(dòng)快：渦輪分子泵能夠在短時(shí)間內(nèi)迅速啟動(dòng)，并達(dá)到穩(wěn)定的抽氣狀態(tài)?？股渚€照射：渦輪分子泵能夠抵抗各種射線的照射，適用于高能加速器等輻射環(huán)境下的真空抽取。耐大氣沖擊：渦輪分子泵具有較強(qiáng)的耐大氣沖擊能力，能夠在氣壓突變的環(huán)境中保持穩(wěn)定的抽氣性能。無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)：渦輪分子泵在工作過(guò)程中不會(huì)存儲(chǔ)氣體，也不會(huì)產(chǎn)生解吸效應(yīng)，因此能夠獲得清潔的超高真空。無(wú)油蒸氣污染：渦輪分子泵采用無(wú)油潤(rùn)滑系統(tǒng)，避免了油蒸氣對(duì)真空環(huán)境的污染。四、應(yīng)用領(lǐng)域 電容真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用？上海電容薄膜真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商

真空測(cè)量的特點(diǎn)

測(cè)量壓力范圍寬，105～10-14Pa。2大部分真空計(jì)是間接測(cè)量，只有壓力為105～10Pa時(shí)，可直接測(cè)單位面積所受的力。3采用電測(cè)技術(shù)，反應(yīng)迅速，靈敏度高，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。4大部分真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測(cè)量時(shí)要特別注意被測(cè)量氣體種類和成分，否則會(huì)造成很大誤差。5測(cè)量精度不高。

選擇真空計(jì)的原則

在要求的壓力區(qū)域內(nèi)有要求的精度。2被測(cè)氣體是否會(huì)損傷真空計(jì)；真空計(jì)可否會(huì)給被測(cè)氣體狀態(tài)帶來(lái)影響。3靈敏度與氣體種類有關(guān)否。4可否連續(xù)指示、電氣指示以及反應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)短。5穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計(jì)的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場(chǎng)有無(wú)銷售、購(gòu)買的難易程度和規(guī)格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質(zhì)中，如強(qiáng)酸、鹽堿環(huán)境下，要求真空計(jì)具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環(huán)境下，對(duì)真空計(jì)中的敏感及電子元器件有較高的要求，不能發(fā)生失效、漂移情況的發(fā)生。 陜西陶瓷真空計(jì)供應(yīng)商真空計(jì)如何快速選型？

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來(lái)的，并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低意味著真空度高。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書(shū)所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測(cè)量。壓力是一個(gè)力學(xué)量，為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa，直接測(cè)量這樣大的壓力是容易的，但在真空技術(shù)中，測(cè)量這樣大的壓力是比較少的。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低，如有時(shí)要測(cè)10-10Pa的壓力，這樣極小的壓力用直接測(cè)量單位面積所承受的力是不可能的。因此，測(cè)量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象，然后測(cè)量這個(gè)過(guò)程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量，再設(shè)法間接確定出真實(shí)壓力來(lái)。例如先將被測(cè)氣體壓縮，使其壓力增高，測(cè)出增高后的壓力，再根據(jù)壓縮比計(jì)算出原來(lái)的壓力值，這就是所謂的壓縮式真空計(jì)。也可以用一根熱絲，測(cè)量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果，如熱絲溫度、電阻變化等，這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計(jì)。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離，用測(cè)得的離子流反應(yīng)壓力，這就是電離真空計(jì)。

金屬電容薄膜真空計(jì)由金屬薄膜和電極構(gòu)成。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí)，薄膜電容會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，從而導(dǎo)致電容的大小變化。電子測(cè)量電路負(fù)責(zé)測(cè)量這個(gè)電容的變化，并將之轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。具體來(lái)說(shuō)，施加到電容薄膜上的壓力變化會(huì)導(dǎo)致膜片間距離變化，進(jìn)而引起電容的變化。通過(guò)測(cè)量電容的變化，并將其轉(zhuǎn)換為電流或電壓的變化，就可以作為輸出的信號(hào)來(lái)測(cè)量真空度。

高精度：金屬電容薄膜真空計(jì)的測(cè)量精度較高，部分產(chǎn)品的精度可達(dá)0.01%，可以滿足各種精度要求的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)需求。高靈敏度：由于金屬薄膜的厚度只有幾個(gè)納米，因此該真空計(jì)能夠?qū)ξ⑿〉膲毫ψ兓龀龇磻?yīng)，具有高靈敏度。長(zhǎng)壽命：金屬薄膜具有良好的耐磨損性和耐腐蝕性，使得金屬電容薄膜真空計(jì)能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作，壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)年。簡(jiǎn)單易用：金屬電容薄膜真空計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，只需連接電源和真空管路即可進(jìn)行測(cè)試。同時(shí)，部分產(chǎn)品還具有自動(dòng)清零、自動(dòng)校準(zhǔn)等功能，使測(cè)試更加準(zhǔn)確、方便。 真空計(jì)校準(zhǔn)后為什么不準(zhǔn)了？

利用氣體動(dòng)力學(xué)效用類真空計(jì)

測(cè)量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產(chǎn)生的彈性變形或其他力學(xué)性能變化來(lái)推算真空度的。典型**有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)。a）波爾登規(guī)利用彈性元件（如波紋管）在壓力作用下的變形來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣體壓力作用在波紋管上時(shí)，波紋管會(huì)產(chǎn)生變形，這種變形可以通過(guò)機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)化為指針的偏轉(zhuǎn)，從而指示出真空度的大小。

b）電容薄膜真空計(jì)利用薄膜的形變與電容的變化關(guān)系來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)氣壓發(fā)生變化時(shí)，薄膜會(huì)相應(yīng)地產(chǎn)生形變，這種形變會(huì)導(dǎo)致電容的改變，進(jìn)而通過(guò)測(cè)量電容的變化量來(lái)推算出真空度的數(shù)值。薄膜電容規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、響應(yīng)迅速、測(cè)量范圍廣等特點(diǎn)。 皮拉尼真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用？上海電容薄膜真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商

真空計(jì)的讀數(shù)通常是不變的，這是因?yàn)樗鼈兺ǔＪ褂靡粋€(gè)固定的參考?jí)毫?lái)校準(zhǔn)儀器。上海電容薄膜真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商

真空測(cè)量是指用特定的儀器和裝置，對(duì)某一特定空間內(nèi)真空高低的測(cè)定，這種儀器或裝置稱為真空計(jì)（儀器、規(guī)管）。真空計(jì)的種類很多，通常按測(cè)量原理可分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類：***真空計(jì)：通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。例如U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等，這類真空計(jì)所測(cè)量的物理參數(shù)與氣體成分無(wú)關(guān)，測(cè)量比較準(zhǔn)確。但是在氣體壓強(qiáng)很低的情況下，直接進(jìn)行測(cè)量是極其困難的。相對(duì)真空計(jì)：通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，并與***真空計(jì)比較后得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)。如放電真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等，它的特點(diǎn)是測(cè)量的準(zhǔn)確度略差，而且和氣體的種類有關(guān)。在實(shí)際生產(chǎn)中，除真空校準(zhǔn)外，大都使用相對(duì)真空計(jì)。
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