襯底粗磨減薄砂輪是半導體制造中的關鍵工具,尤其在晶圓襯底減薄工藝中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著新能源汽車、軌道交通、消費電子等行業(yè)的快速發(fā)展,市場對于芯片和功率器件的性能要求越來越高,這直接推動了襯底粗磨減薄砂輪技術的不斷進步。在江蘇優(yōu)普納科技有限公司,我們專注于研發(fā)和生產品質高的襯底粗磨減薄砂輪,以滿足客戶日益增長的需求。我們的砂輪采用先進的金剛石磨料和品質高結合劑,確保在粗磨過程中具有出色的磨削效率和穩(wěn)定性,同時能更大限度地減少晶圓表面的損傷,提高芯片良率。通過持續(xù)的技術研發(fā)和工藝改進 優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪在性能上不斷突破 為國產半導體加工設備及耗材力量。適配砂輪生產廠家
針對不同磨床特性,優(yōu)普納提供基體優(yōu)化設計服務,通過調整砂輪結構(如孔徑、厚度、溝槽)增強與設備的匹配度。例如,為適配DISCO-DFG8640高速減薄機,優(yōu)普納開發(fā)了增強型冷卻流道砂輪,使8吋SiC晶圓加工效率提升25%,磨耗比控制在30%以內??蛻艨筛鶕陨碓O備型號、晶圓尺寸(4吋/6吋/8吋)及工藝階段(粗磨/精磨)靈活選擇砂輪方案,實現“一機一策”的精確適配。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產砂輪,品質有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產品以及方案。國產砂輪實驗數據在8吋SiC線割片的粗磨加工中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機上達到磨耗比30%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。
在半導體制造等精密加工領域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過砂輪高速旋轉,磨粒與工件表面產生強烈摩擦,從而實現材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅硬且脆性大的半導體材料表面。磨粒的粒度分布經過精心設計,從粗粒度用于高效去除大量材料,到細粒度實現精密的表面修整,整個過程如同工匠精心雕琢藝術品。在磨削過程中,結合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時機發(fā)揮磨削功能,同時又能在磨粒磨損到一定程度時,適時讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過程被稱為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過優(yōu)化結合劑配方,實現了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長時間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導體晶圓的高質量減薄加工奠定堅實基礎。
優(yōu)普納砂輪以國產價格提供進口品質,單次加工成本降低40%。例如,進口砂輪精磨8吋SiC晶圓磨耗比通常超過250%,而優(yōu)普納產品只需200%,且Ra≤3nm的精度完全滿足5G、新能源汽車芯片制造需求。客戶反饋顯示,國產替代后設備停機更換頻率減少50%,年維護成本節(jié)省超百萬元。針對不同設備(如DISCO-DFG8640、東京精密HRG200X),優(yōu)普納提供基體優(yōu)化設計砂輪,增強冷卻液流動性,減少振動。支持定制2000#至30000#磨料粒度,適配粗磨、半精磨、精磨全工藝。案例中,6吋SiC晶圓使用30000#砂輪精磨后TTV≤2μm,表面質量達國際先進水平。優(yōu)普納砂輪于東京精密-HRG200X減薄機上,對8吋SiC線割片進行粗磨,磨耗比35%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。
襯底粗磨減薄砂輪的應用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經過精心設計和制造,具有優(yōu)異的端面跳動和外圓跳動控制,能夠在高轉速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產生的熱量,保護晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時致電咨詢~在8吋SiC線割片的精磨案例中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機上實現磨耗比200%,Ra≤3nm,TTV≤2μm。浙江砂輪性能
通過優(yōu)化砂輪的基體設計,優(yōu)普納產品有效減少加工過程中的振動,提升加工精度,增強冷卻效果 延長使用壽命。適配砂輪生產廠家
江蘇優(yōu)普納科技有限公司:5G基站氮化鎵(GaN)器件對晶圓表面質量要求極高,江蘇優(yōu)普納科技有限公司的砂輪通過超精密磨削工藝實現Ra≤3nm的鏡面效果。某通信設備制造商采用優(yōu)普納砂輪加工6吋GaN襯底,精磨磨耗比120%,TTV≤2μm,芯片良率從88%提升至95%,單月產能突破10萬片。這一案例驗證了國產砂輪在高頻、高功率半導體領域的可靠性與競爭力。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產砂輪,品質有保證,歡迎您的隨時致電咨詢,為您提供滿意的產品以及方案。適配砂輪生產廠家