在電子顯微鏡中,擴散泵提供的高真空環(huán)境能夠減少電子與氣體分子的碰撞,提高電子束的傳輸效率和成像分辨率,使科學家能夠觀察到更為微小的物質結構。分子泵分子泵是基于高速旋轉的轉子與氣體分子之間的動量交換原理工作的。它主要由泵體、轉子、定子、進氣口、排氣口等部件組成。轉子在高速旋轉時,其表面的葉片對氣體分子產生撞擊和推動作用,使氣體分子獲得定向動量并被排出泵外。分子泵具有抽氣速率高、真空度高、無油污染等優(yōu)點,適用于超高真空領域,如半導體制造、核聚變研究、量子物理實驗等。在半導體制造中,分子泵為芯片的光刻、蝕刻、離子注入等工序提供超高真空環(huán)境,確保芯片制造過程中不受雜質氣體的污染,提高芯片的性能和成品率。例如,在7nm及以下先進制程的芯片制造中,分子泵的高性能對于維持光刻設備中的超高真空環(huán)境至關重要,能夠保證光刻圖案的高精度和穩(wěn)定性。真空泵品牌具有良好的口碑和市場占有率。西藏阿爾卡特真空泵
購買二手真空泵的交貨期通常較短。與購買全新設備需要等待生產、運輸?shù)拳h(huán)節(jié)不同,二手真空泵一般在市場上有現(xiàn)貨供應,購買者可以快速獲得設備并投入使用,節(jié)省了時間成本。特別是對于一些急需使用真空泵的項目或企業(yè)來說,二手設備能夠快速解決設備需求的燃眉之急。折舊成本低:二手真空泵的折舊成本相對較低。因為設備已經(jīng)經(jīng)過了一定時間的使用,其價值已經(jīng)有了一定程度的降低,所以在后續(xù)的使用過程中,設備的折舊費用會相對較少。這對于一些對設備成本核算較為嚴格的企業(yè)來說,是一個重要的優(yōu)勢。萊寶真空泵聯(lián)系先進的真空泵可以高效地降低壓力,為許多高精度的加工過程提供必要條件。
當轉子在電機的驅動下開始旋轉時,由于轉子的偏心安裝,旋片在離心力和彈簧力的共同作用下,始終與泵腔內壁保持緊密接觸。隨著轉子的轉動,泵腔被旋片分隔成兩個區(qū)域:吸氣腔和排氣腔。在吸氣過程中,吸氣腔的容積隨著轉子的旋轉逐漸增大,腔體內的壓力隨之降低。根據(jù)氣體的擴散原理,外部氣體在壓力差的作用下,通過進氣口源源不斷地被吸入吸氣腔。當轉子繼續(xù)轉動,吸氣腔逐漸轉變?yōu)榕艢馇?,此時排氣腔的容積逐漸減小,氣體被壓縮。隨著氣體被壓縮,其壓力逐漸升高,當壓力高于排氣口的外部壓力時,氣體便從排氣口排出泵體。例如,在真空包裝行業(yè)中,旋片式真空泵就是利用這樣的工作原理,將包裝袋內的空氣抽出,使袋內壓力降低,從而達到保鮮和防止氧化的目的。其抽氣速率一般在每秒幾升到幾十升不等,極限真空度可達到 10?2 - 10?3 Pa 左右,能夠滿足大多數(shù)中低真空度要求的應用場景。
真空鍍膜真空泵在真空鍍膜領域發(fā)揮著中心作用。在真空鍍膜過程中,首先需要真空泵將鍍膜室內的氣體抽出,降低室內壓力,創(chuàng)造高真空環(huán)境。不同的鍍膜技術,如物相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD),都依賴于真空泵提供的真空條件。在PVD技術中,如蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍膜,真空泵將鍍膜室抽至高真空后,鍍膜材料在高溫或離子轟擊下蒸發(fā)或濺射并沉積在工件表面,形成具有特定性能的薄膜。例如,在刀具鍍膜中,通過真空鍍膜技術在刀具表面沉積一層硬質薄膜,如氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等,可提高刀具的硬度、耐磨性和切削性能,延長刀具的使用壽命。隨著技術的不斷進步,真空泵的未來發(fā)展前景廣闊。
轉子帶動旋片將泵腔分為吸氣腔和排氣腔。在吸氣過程中,隨著轉子的轉動,吸氣腔的容積逐漸增大,腔內壓力降低,氣體通過進氣口被吸入泵腔。當旋片轉過一定角度后,吸氣腔變?yōu)榕艢馇?,排氣腔的容積逐漸減小,氣體被壓縮,當壓力高于排氣口的外部壓力時,氣體便從排氣口排出。旋片式真空泵具有結構簡單、操作方便、抽氣速率較快等優(yōu)點,適用于低真空和中真空范圍的應用,如真空包裝、真空干燥、真空浸漬等行業(yè)。例如,在食品真空包裝過程中,旋片式真空泵能夠快速抽出包裝袋內的空氣,延長食品的保質期,防止食品氧化和霉變。真空泵的操作簡單方便,即使是非專業(yè)人員也能快速上手。西藏阿爾卡特真空泵
高質量的真空泵能夠持續(xù)穩(wěn)定地工作,確保生產過程的順利進行。西藏阿爾卡特真空泵
擴散泵是蒸汽流真空泵的典型代言,它主要由泵體、噴嘴、蒸汽源、冷凝器等部件組成。其工作原理是利用高速蒸汽流作為抽氣動力。工作時,先由鍋爐產生的高溫蒸汽通過噴嘴高速噴出,蒸汽流在泵腔內形成高速定向運動的氣流。當氣體分子進入蒸汽流區(qū)域時,會被蒸汽流攜帶并向泵的出口方向運動。在泵的出口處,通過冷凝器將蒸汽冷卻凝結成液體,使氣體分子不斷被排出,從而實現(xiàn)抽氣的目的。擴散泵能夠獲得高真空度,可達10??-10??Pa的范圍,在高真空鍍膜、電子顯微鏡、加速器等領域有著重要應用。西藏阿爾卡特真空泵