氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法:一、環(huán)境條件,校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃,環(huán)境相對濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因為標(biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式,真空模式及正壓模式,可根據(jù)客戶不同需求,選擇不同的檢漏方法。上海無損氦質(zhì)譜檢漏儀原理氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣...
氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用:無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點(diǎn),替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法:由于無源器件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐,壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2...
在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時,必須考慮其特性和真空測量的特性:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短,且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應(yīng),因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應(yīng),這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體(如氬)一起抽空時尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時,電離真空計受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣,讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關(guān)點(diǎn),以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。強(qiáng)磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于...
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo):1.可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.啟動時間:≤5min;4.響應(yīng)時間:≤1s;5.檢漏口的壓力:1500Pa;6.電源要求:220v,50Hz,單相,10A;7.工作環(huán)境:5-35℃;8.相對濕度:≤80%;9.外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H);10.重量:64kg。使用環(huán)境:環(huán)境溫度:5~35℃;相對濕度:
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法:1、負(fù)壓法檢漏,負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口,連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體,示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同,需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏,壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中,然后連至檢漏儀將其抽空,示蹤氣體通過漏孔泄漏出來,經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。嘉興無損氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個方面:(...
氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中,應(yīng)根據(jù)檢驗?zāi)康倪x擇較合理的方法,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法,較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場...
氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理:漏率示值誤差,①漏率的溫度修正,標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響一般為3%/℃,所以如果實際環(huán)境溫度和標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中溫度不一致,需要將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中漏率和標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:方法一:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計算值;方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,...
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項:1、工件要保持清潔、干燥。2、對工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行:①從上往下。②從靠近測試口到遠(yuǎn)離測試口。3、噴氦時應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件,必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉,才能取工件。5、對同一工件,如有兩處以上漏點(diǎn),應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后,再對其它地方檢漏。6、裝工件時應(yīng)使連接處密封好,不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好,避免氦氣濃度,但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體,應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈,清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對電離盒電子入口,盡量靠近電離盒,但不能短路,三根引線間也不能相互短路。氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,...
氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲,目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn),使得電路噪聲已經(jīng)降得很低,因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的,主要形成的原因包括:一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣,而電離規(guī),特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng),其表面污染時就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,需要針對性的采取措施,如減少采用有機(jī)材料,不用磁放電規(guī)等。氦質(zhì)譜檢漏儀被普...
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀關(guān)...
氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中,應(yīng)根據(jù)檢驗?zāi)康倪x擇較合理的方法,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法,較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。...
在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時,必須考慮其特性和真空測量的特性:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短,且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應(yīng),因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應(yīng),這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體(如氬)一起抽空時尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時,電離真空計受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣,讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關(guān)點(diǎn),以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。強(qiáng)磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于...
氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果。常州國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、性價比高:便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域...
氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏:調(diào)節(jié)閥又名控制閥,在現(xiàn)代化工廠的自動控制中,調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用,如果調(diào)節(jié)閥有漏,將會嚴(yán)重影響設(shè)備運(yùn)行,進(jìn)而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。調(diào)節(jié)閥檢漏,閥門氣密性測試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣,如在被檢測處如閥桿等,用氦檢儀正壓法檢測,正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏,檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣...
隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展,汽車空調(diào)行業(yè)對氦檢的需求越來越大,對氦檢的性能指標(biāo)要求越來越高。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機(jī)檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點(diǎn)的同時,更具備操作方便、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨(dú)有特點(diǎn)。對被檢工件抽空后充入一定壓強(qiáng)的氦氣,被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱與氦檢儀檢漏口相接。若被檢工件有漏,則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,在檢漏前后分別實現(xiàn)氦氣的充鑄和回收。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏,還有冷凝罐的檢漏,由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本,所以電廠檢漏在實際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢...
氦檢儀噪聲是哪兒來的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,一個是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個就是本底噪聲。實際上,目前通過對電子線路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過放大信號的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦...
在使用氦檢儀時要如何保養(yǎng)?①如果儀器不是每天都使用,建議每周啟動并檢查一次,以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動時間。②儀器部件(如離子源)拆卸后,安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場發(fā)生泄漏,儀器可用于泄漏檢測。③及時對泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自檢。)可能出現(xiàn)在儀器上,并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時移除、清潔或緊固,以免在泄漏檢測過程中干擾泄漏檢測。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。(散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換)⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上,尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,其儲存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時...
選購氦檢儀的注意事項有哪些?1.注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度,根據(jù)現(xiàn)如今產(chǎn)品批量篩選和檢查泄露的需求進(jìn)行研究可以發(fā)現(xiàn),不同的產(chǎn)品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別,消費(fèi)者在選購氦檢儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進(jìn)行挑選,例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦檢儀的檢查速度,立足于自身的需求保證這種氦檢儀的功能得以實現(xiàn)才是較正確的挑選方式;2.注意檢測靈敏度和操作模式特點(diǎn),消費(fèi)者在挑選這種檢測儀器時,必須要分析各種檢測儀器的檢測模式,確保這種氦檢儀以更高的靈敏度和更廣闊的檢測范圍來提高生產(chǎn)的效率,并且在挑選氦檢儀時也必須要根據(jù)該種產(chǎn)品的靈敏度和口碑進(jìn)行分析,確保這種氦檢儀的精確度...
氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用:無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點(diǎn),替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法:由于無源器件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐,壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦檢儀自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。蘇州多功能氦質(zhì)譜檢...
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng),儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件,不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括:1)主泵。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa,其抽速應(yīng)與氣載匹配。2)前級真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵,在以分子示為主泵的系統(tǒng)中,也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3)預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵,預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。嘉興全自動氦質(zhì)譜檢漏儀價錢氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集...
氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法:一、環(huán)境條件,校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃,環(huán)境相對濕度不大于80%。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,因為標(biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。無錫進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用選擇氦檢儀時主要考慮以下問題:(1)儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢...
氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識:(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。嘉興真空氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用氦質(zhì)譜檢漏儀的...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間,耗時耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會對晶元造成污染,對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會失效。...
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。安...
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng),儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件,不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括:1)主泵。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa,其抽速應(yīng)與氣載匹配。2)前級真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵,在以分子示為主泵的系統(tǒng)中,也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3)預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵,預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。安徽全自動氦質(zhì)譜檢漏儀報價高質(zhì)量的檢漏儀可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)安全性,而且還可...
氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種。寧波多功能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦氦檢儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普...
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時,入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢...
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...
影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么?穩(wěn)定時間對檢測的影響,在充氣的時候,壓縮空氣會因為受壓狀態(tài)而進(jìn)入一個密閉容器后,引起一系列的熱力學(xué)-動力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后,其壓力會發(fā)生降低,若此時進(jìn)行測量,則這種壓力的變化會被視作一個由泄漏所引起的壓力變化,影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時,這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時間來消除這種影響。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。蘇州自動氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢高質(zhì)量的檢漏...