芯片研發(fā)制造過程鏈條漫長，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進行精密檢測以確保良率，降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝，并通過不斷研發(fā)迭代和測試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力，傳統(tǒng)測試方法難以獲??；高精度三維顯微應(yīng)變測量技術(shù)的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細微的測量條件下，三維應(yīng)變測量技術(shù)分析尤為重要。 三維應(yīng)變測量技術(shù)是一種用于測量物體三維應(yīng)變狀態(tài)的重要工程測量方法。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測量

光學(xué)非接觸應(yīng)變測量是一種先進的測量技術(shù)，它利用光學(xué)原理實現(xiàn)對物體應(yīng)變的間接測量，無需與被測物體直接接觸。以下是對光學(xué)非接觸應(yīng)變測量的詳細介紹：光學(xué)非接觸應(yīng)變測量的基本原理是利用光與物質(zhì)相互作用時產(chǎn)生的光學(xué)現(xiàn)象，如光的反射、折射、干涉、衍射等，來間接地測量物體的變形。當物體發(fā)生應(yīng)變時，其表面的形貌或光學(xué)性質(zhì)會發(fā)生變化，這些變化可以通過光學(xué)傳感器捕捉到，并轉(zhuǎn)化為電信號進行處理和分析，從而得到物體的應(yīng)變信息。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測量光學(xué)非接觸應(yīng)變測量主要依賴于光學(xué)測量技術(shù)，如數(shù)字全息術(shù)、激光測振儀、數(shù)字圖像相關(guān)法（DIC）等。

    橡膠拉力試驗機采用直流伺服電機及調(diào)速系統(tǒng)一體化結(jié)構(gòu)驅(qū)動同步帶減速機構(gòu)，經(jīng)減速后帶動絲杠副進行加載。電氣部分包括負荷測量系統(tǒng)和變形測量系統(tǒng)組成，所有的控制參數(shù)及測量結(jié)果均可以在大屏幕液晶上實時顯示，并具有過載保護、位移測量等功能。適用于橡膠、復(fù)合膜、軟質(zhì)包裝材料、膠粘劑、膠粘帶、不干膠、橡膠、紙張等產(chǎn)品的拉伸、剝離、撕裂、熱封、粘合等性能測試；能夠保存6次試驗數(shù)據(jù)及結(jié)果，具有曲線顯示，查詢等必要的功能。

    機械式應(yīng)變測量方法：機械式應(yīng)變測量已經(jīng)有很長的歷史，其主要利用百分表或千分表測量變形前后測試標距內(nèi)的距離變化而得到構(gòu)件測試標距內(nèi)的平均應(yīng)變。工程測量中使用的機械式應(yīng)變測量儀器主要包括手持應(yīng)變儀和千分表引伸計。機械式應(yīng)變測量方法主要突出的特點是讀數(shù)直觀、環(huán)境適應(yīng)能力強、可重復(fù)性使用等。但需要人工讀數(shù)、費時費力、精度差，對于應(yīng)變測點數(shù)量眾多的橋梁靜載試驗顯然不合適。因此，除了少數(shù)室內(nèi)模型試驗的特殊需要，工程結(jié)構(gòu)中很少使用。 一些新的技術(shù)被引入，如數(shù)字圖像相關(guān)等，這些方法提高了測量的準確性和精度，還擴展了應(yīng)變測量的應(yīng)用范圍。

   拉力試驗力值的應(yīng)變測量是通過測力傳感器、擴展器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)來完成的。從數(shù)據(jù)力學(xué)上看，在小變形的前提下，彈性元件的某一點應(yīng)變霹靂與彈性元件的力成正比，也與彈性變形成正比。以S型試驗機傳感器為例，當傳感器受到拉力P的影響時，由于彈性元件的應(yīng)變與外力P的大小成正比，彈性元件的應(yīng)變與外力P的大小成正比，應(yīng)變片可以連接到測量電路，測量其輸出電壓，然后測量輸出力的大小。變形測量是通過變形測量和安裝來測量的，用于測量樣品在實驗過程中的變形。安裝有兩個夾頭，通過一系列的傳記念頭結(jié)構(gòu)與安裝在測量和安裝頂部的光電編碼器連接。光學(xué)非接觸應(yīng)變測量利用全息干涉術(shù)和激光散斑術(shù)，通過光的干涉和散斑圖案分析物體表面應(yīng)變。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測量

電阻應(yīng)變測量(電測法)是實驗應(yīng)力分析中使用較廣和適應(yīng)性比較強的方法之一。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測量

可以采用相似材料結(jié)構(gòu)模型實驗的手段，以鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)為研究對象，通過數(shù)字散斑的光學(xué)非接觸應(yīng)變測量方式，獲取強烈地震作用下模型表面的三維全場位移及應(yīng)變數(shù)據(jù)。應(yīng)變計作為應(yīng)變測量的工具，存在著貼片過程繁瑣，測量精度嚴重依賴其貼片質(zhì)量，對環(huán)境溫度敏感等問題。此外，應(yīng)變計無法進行全場測量，難以捕捉到關(guān)鍵位置的變形出現(xiàn)的初始位置，當框架結(jié)構(gòu)發(fā)生較大范圍變形或斷裂，應(yīng)變計在試件出現(xiàn)斷裂時容易損壞，影響測試數(shù)據(jù)的質(zhì)量。福建高速光學(xué)數(shù)字圖像相關(guān)變形測量