氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。寧波真空氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括幾個(gè)方面：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。浙江小型氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。

氦檢儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面：（1）便攜式：較近各國(guó)推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。（4）全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀，質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。

氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間，靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，恢復(fù)時(shí)間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過(guò)以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測(cè)的氦信號(hào)：(mbar.l/s)，響應(yīng)時(shí)間：(s)，恢復(fù)時(shí)間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦檢儀能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng)：1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①?gòu)纳贤?。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。5、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。氦檢儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式，真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。嘉興小型氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。寧波真空氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí)，不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過(guò)程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí)，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí)，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。寧波真空氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)