真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等,這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái), 伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭,同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下,我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。真空泵在其工作壓力下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。武漢水環(huán)式式真空泵經(jīng)銷(xiāo)商
國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,很好地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。武漢水環(huán)式式真空泵經(jīng)銷(xiāo)商真空泵要注意什么問(wèn)題?
真空泵按工作介質(zhì)可分為水噴射泵、大氣噴射泵和水蒸汽噴射泵,噴射泵特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作穩(wěn)定可靠。可抽除含有水蒸汽、粉塵的氣體、易燃易爆氣體和腐蝕性氣體。抽氣量大,應(yīng)用普遍:冶金、化工、食品制造等領(lǐng)域:缺點(diǎn):抽氣效率低,能量損失大:擴(kuò)散泵:以油或汞蒸汽作為工作介質(zhì)。汞擴(kuò)散泵不帶分餾裝置,油擴(kuò)散泵有分餾裝置。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。
分子泵適用于在要求清潔的高真空和超高真空的儀器及設(shè)備上使用。也可用來(lái)作為離子泵、升華泵、低溫泵等氣體捕集超高真空泵的前級(jí)預(yù)抽真空泵使用,這將獲得更低的極限壓力或更清潔的無(wú)碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合,集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體,在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi) (10-6~1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比,很好地提高了出口壓強(qiáng)。復(fù)合式分子泵的形式很多,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合;渦輪葉片與盤(pán)式牽引泵的串聯(lián)組合;渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級(jí)數(shù)在10級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓強(qiáng)。水環(huán)真空泵,開(kāi)泵前要進(jìn)行手動(dòng)盤(pán)車(chē)。
由于滑閥泵比較耐用、可靠,國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價(jià)格又很低,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān),價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。真空泵要經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。武漢水環(huán)式式真空泵經(jīng)銷(xiāo)商
真空泵的極限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。武漢水環(huán)式式真空泵經(jīng)銷(xiāo)商
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為:利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種,其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型,即變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵。變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。武漢水環(huán)式式真空泵經(jīng)銷(xiāo)商