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寧波真空泵供應(yīng)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-09-23

真空泵泄漏是真空泵比較常見的問題,主要發(fā)生在真空泵的油窗、油罐墊片和電機(jī)軸承軸密封中,主要原因是真空泵使用時(shí)間過長(zhǎng),部件使用時(shí)間過長(zhǎng)或者部件使用不當(dāng),密封不適用等。電機(jī)軸前部有油封,油封后面也有油封,老化會(huì)導(dǎo)致油泄漏。如果吸油量滿,則真空泵泄漏。發(fā)生此故障時(shí),首先檢查是否是真空泵本身就存在輕微泄露的情況。第二個(gè)打開泵,需要約30分鐘才能排出非油污造成的壓縮蒸汽,排出后,檢查供油系統(tǒng)的閥門,清潔葉輪,看油管的閥門是否變形或損壞,且機(jī)油可能不足,檢查供油的閥門、葉輪的旋轉(zhuǎn)、真空泵的旋轉(zhuǎn)張力是否不足。極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在較低的真空極限壓力下真空泵的極限壓力。水環(huán)真空泵,開泵前要進(jìn)行手動(dòng)盤車。寧波真空泵供應(yīng)

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性較慢,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí),排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。嘉興科研實(shí)驗(yàn)室真空泵批發(fā)爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu),每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙,即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙。

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速單為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場(chǎng)合的需要。

真空泵的選擇,1、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來使用。2、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。油封式真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。

油封式真空泵就是用油將相向運(yùn)動(dòng)的零部件和排氣閥零件間密封起來;將有害空間充填,使得高壓氣體反突破的機(jī)會(huì)少得多,密封性能也就好得多,從而使泵能達(dá)到較高的真空度。油封式真空泵的應(yīng)用油封式真空泵按照結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式四種。目前,油封式真空泵是國(guó)內(nèi)真空獲得技術(shù)中應(yīng)用較廣的一種泵,它可單獨(dú)用作低真空設(shè)備的排氣用泵,也可用作高真空排氣時(shí)的前級(jí)真空泵。真空行業(yè)中普遍使用的油封式機(jī)械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑閥泵。因此,它已在國(guó)民經(jīng)濟(jì)的很多部門,例如電真空、電子、輕化工、鋼鐵、有色冶煉等工業(yè)部門中發(fā)揮著越來越大的作用。由于油封式真空泵均裝有氣鎮(zhèn)裝置,故也可以抽除潮濕氣體。干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇真空獲得設(shè)備。嘉興科研實(shí)驗(yàn)室真空泵

真空泵要經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)更換新油。寧波真空泵供應(yīng)

真空泵的正確使用及注意事項(xiàng),1、 抽真空作業(yè),將需要抽真空的設(shè)備的抽氣套管緊密接于本機(jī)抽氣嘴上,檢查循環(huán)水開關(guān)應(yīng)關(guān)閉,接通電源,打開電源開關(guān),即可開始抽真空作業(yè),通過與抽氣嘴對(duì)應(yīng)的真空表可觀察真空度。2、 當(dāng)本機(jī)需長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)作業(yè)時(shí),水箱內(nèi)的水溫將會(huì)升高,影響真空度,此時(shí),可將放水軟管與水源(自來水)接通,溢水嘴作排水出口,適當(dāng)控制自來水流量,即可保持水箱內(nèi)水溫不升使真空度穩(wěn)定。3、 當(dāng)需要為反應(yīng)裝置提供冷卻循環(huán)水時(shí),將需要冷卻的裝置的進(jìn)水、出水管分別接到本機(jī)后部的循環(huán)水出水嘴、進(jìn)水嘴上、轉(zhuǎn)動(dòng)循環(huán)水開關(guān)止ON位置,即可實(shí)現(xiàn)循環(huán)冷卻水供應(yīng)。寧波真空泵供應(yīng)

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