干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是普遍的，主要有以下幾個(gè)方面：1、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2、半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4、在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5、用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。真空泵和其他設(shè)備組成真空系統(tǒng)，可應(yīng)用于電子、冶金、化工、食品、機(jī)械、醫(yī)藥、航天等部門。河源移動(dòng)式真空泵

選用真空泵時(shí)需要注意事項(xiàng)：真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。哈爾濱水循環(huán)真空泵廠商真空泵的抽速還與氣體的種類有關(guān)。

真空泵故障及方法：極限真空不高及其消除（1）油位太低，有較大排氣聲，可加入清潔的真空泵油。（2）泵油為可凝性蒸汽所污染，可開(kāi)氣鎮(zhèn)凈化或更換新油。（3）泵口外接管道、容器、測(cè)試儀表管道、接頭等漏氣。大漏時(shí)，有大排氣聲，排氣口有氣排出，應(yīng)找出漏氣部位，進(jìn)行消除。（4）進(jìn)氣咀或氣鎮(zhèn)閥橡膠密封圖裝配不當(dāng)，損壞或老化，應(yīng)調(diào)整或更換。（5）進(jìn)油咀油孔堵塞，可拔出進(jìn)油咀，疏通油孔。（6）真空系統(tǒng)嚴(yán)重污染，包括容器、管道等，應(yīng)予清洗。（7）旋片彈簧折斷，應(yīng)予調(diào)換。（8）旋片、泵身或蓋磨損，間隙過(guò)大，應(yīng)進(jìn)行檢查，修整或調(diào)換。（9）泵溫過(guò)高，應(yīng)改善通風(fēng)和冷卻。如所抽氣體溫度太高，應(yīng)予先冷卻后再進(jìn)入泵內(nèi)。

真空泵的好壞決定于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用真空泵時(shí)必須也要保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)溶劑時(shí)，有機(jī)溶劑會(huì)被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會(huì)腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會(huì)使油成乳濁液而抽壞真空泵。因此使用真空泵時(shí)必須注意下列幾點(diǎn)：在蒸餾系統(tǒng)和真空泵之間，必須裝有吸收裝置。蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統(tǒng)中有機(jī)溶劑的蒸氣。如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。減壓系統(tǒng)必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。真空泵可單獨(dú)使用，也可用為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵、維持泵、鈦泵的預(yù)抽泵用。

真空泵機(jī)械選擇：⑴真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆粒灰塵，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。真空泵常常安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所。水真空泵制造廠家

真空泵的使用保養(yǎng)方法是什么？河源移動(dòng)式真空泵

真空泵的操作方法：檢查真空系統(tǒng)中的閥門是否開(kāi)啟或關(guān)閉，真空裝置上方的閥門應(yīng)關(guān)閉，檢查系統(tǒng)是否有泄漏。檢查真空泵油杯中的真空泵油是否符合要求;檢查水環(huán)泵室中的水量是否超過(guò)水環(huán)泵的啟動(dòng)要求，允許少量水或空腔留在泵室中，否則大部分水應(yīng)在啟動(dòng)前排干。嚴(yán)禁泵房充水啟動(dòng)，以免造成跳閘或葉輪破損。檢查水和電路的連接。水路是否平整，水壓是否滿足要求，連接回路時(shí)，每臺(tái)真空泵的轉(zhuǎn)向必須滿足要求。每臺(tái)水環(huán)泵與羅茨水環(huán)真空機(jī)組的聯(lián)軸器在手板上，應(yīng)有彈性不卡的現(xiàn)象，尤其是水環(huán)泵。河源移動(dòng)式真空泵