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四、照度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定:潔凈區(qū)主要操作間照度不得少于300勒克斯,一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。潔凈區(qū)的照度檢查每年不得少于一次,在經(jīng)過(guò)設(shè)備大修、廠房改造、工藝布局調(diào)整等變更的時(shí)候應(yīng)在變更結(jié)束后重新檢測(cè)照度。檢測(cè)要求:室內(nèi)照度測(cè)度必須在室溫已趨穩(wěn)定,光源光輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行(對(duì)熒光燈必須有100h)。檢測(cè)方法:測(cè)點(diǎn)平面離地面0.85m,按間距1-2m布點(diǎn),測(cè)點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測(cè)定位置要求相同。記錄實(shí)測(cè)照度值并計(jì)算總的平均照度。照度測(cè)量一般*測(cè)定除局部照明之外的一般照明。它不僅對(duì)室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求,而且對(duì)空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等均有較高的要求。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)值得推薦
A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,不得超過(guò)2人,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù),工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右,送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開(kāi)送風(fēng)面30cm左右,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn),每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次。北京潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)檢測(cè)結(jié)果異常時(shí),應(yīng)組織團(tuán)隊(duì)進(jìn)行復(fù)檢和原因分析。
風(fēng)量或風(fēng)速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級(jí)、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對(duì)濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自?xún)魰r(shí)間、污染泄露、照度(照明)、甲醛、細(xì)菌濃度。1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級(jí)別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對(duì)濕度、照度、噪聲、自?xún)魰r(shí)間、已安裝過(guò)濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對(duì)濕度、照度、噪聲、自?xún)魰r(shí)間。4、食品工業(yè)潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對(duì)濕度、自?xún)魰r(shí)間、甲醛、Ⅰ級(jí)工作區(qū)截面風(fēng)速、開(kāi)發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響抽樣對(duì)有設(shè)計(jì)要求的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)。
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類(lèi)測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。江蘇生物安全柜檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)值得推薦
B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測(cè)量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見(jiàn)圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過(guò)率的計(jì)算,該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不低于40%,對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器(CNC)的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測(cè)量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來(lái)降低計(jì)數(shù)效率。此時(shí),經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過(guò)率的乘積。上海實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)值得推薦