潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。江西潔凈室環(huán)境檢測(cè)哪家好
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。2潔凈室與周?chē)o助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。3應(yīng)測(cè)定潔凈廠房?jī)?nèi)、外各類(lèi)振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響,以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門(mén)難以提供容許振動(dòng)值時(shí),可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)價(jià)格單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理,把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去,用潔凈氣流置換污染氣流。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
(1)將所有的門(mén)關(guān)閉,將測(cè)定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處,垂直于氣流方向設(shè)置周?chē)鸁o(wú)阻擋氣流擾動(dòng)**小。(2)靜壓差的測(cè)定應(yīng)從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級(jí)別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測(cè)起依次向外測(cè)定,直至測(cè)得**靠外的潔凈室與周?chē)綄侪h(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對(duì)于潔凈度高于5級(jí)的單向流層流潔凈室,還應(yīng)測(cè)定在門(mén)開(kāi)啟狀態(tài)下離門(mén)口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測(cè)時(shí)的注意事項(xiàng)在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測(cè)之前,必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時(shí),應(yīng)該關(guān)閉的門(mén)全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止。檢測(cè)為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi),甲、乙類(lèi)與非甲、乙類(lèi)相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí)。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下,潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。潔凈室檢測(cè)是確保生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到特定潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)鍵步驟。潔凈室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)能夠持續(xù)監(jiān)控潔凈室環(huán)境,及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常情況。江西潔凈室環(huán)境檢測(cè)哪家好
B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣[1],進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(cè)(例如非單向流)的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時(shí),連接管的長(zhǎng)度和直徑不應(yīng)超過(guò)制造商的建議值。采樣過(guò)程中,因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。江西潔凈室環(huán)境檢測(cè)哪家好