單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果越***，潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù)，是主要關(guān)注的氣流測試項目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù)，記錄各測點風(fēng)速的時間平均值。換氣次數(shù)：根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得CMA資質(zhì)方面：認(rèn)可第三方檢測機(jī)構(gòu)，CMA計量認(rèn)證資質(zhì)。北京電子廠房環(huán)境檢測服務(wù)至上

每臺風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點平均風(fēng)速范圍：m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置：回風(fēng)口，風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個過濾器和安裝所有邊框和接點。采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）。采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件：a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s（3cm*3cm）f)采樣頭掃描速率≤3cm/s（5cm*1cm）g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標(biāo)準(zhǔn)(高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3。上?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的改進(jìn)機(jī)會應(yīng)納入持續(xù)改進(jìn)計劃中。

潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類（1）空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員。（2）靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠(yuǎn)轉(zhuǎn)，但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。（3）動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種，它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求，而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風(fēng)工程的設(shè)計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設(shè)計、施工均有特殊的要求與相應(yīng)的技術(shù)措施其造價也相應(yīng)提高。

風(fēng)量或風(fēng)速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時間、污染泄露、照度（照明）、甲醛、細(xì)菌濃度。1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部：風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房：空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間。4、食品工業(yè)潔凈用房：定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對濕度、自凈時間、甲醛、Ⅰ級工作區(qū)截面風(fēng)速、開發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。定期對潔凈室管理人員進(jìn)行培訓(xùn)和考核，提升其專業(yè)素養(yǎng)。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響安裝驗證和操作驗證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗證。浙江潔凈室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

按所需控制的空氣中懸浮微粒分類，可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。北京電子廠房環(huán)境檢測服務(wù)至上

6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī)，再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。北京電子廠房環(huán)境檢測服務(wù)至上