(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。對于來流的潔凈度,對通過高效以上過濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來說是不成問題的。江蘇生物安全柜檢測優(yōu)化價格
空氣潔凈度:這是潔凈車間環(huán)境檢測的**指標,通常通過檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)來評估。不同潔凈等級的車間對塵埃粒子的限制不同,如潔凈度等級為100級的車間對大于等于5μm的塵粒有嚴格的計數(shù)要求。微生物指標:包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對產(chǎn)品質(zhì)量和工作人員健康造成影響,因此需要進行嚴格的控制和監(jiān)測。溫度與濕度:潔凈車間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境,以確保生產(chǎn)過程的順利進行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。通常,生產(chǎn)工藝對溫度和濕度無特殊要求時,潔凈室溫度應(yīng)為18~26℃,相對濕度應(yīng)為45~65%。江蘇消毒液凈化車間環(huán)境檢測值得推薦亂流(非單流)潔凈室的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)。
B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點??墒褂密浐熥钃鯇蜗蛄鞯母蓴_。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測點距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風(fēng)機-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測量平均時間。
4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠離測試點,并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。運行確認是要證明廠房、設(shè)施和設(shè)備的穩(wěn)定、可靠的運行并符合設(shè)計的標準。
潔凈室的檢測狀態(tài)可分為三類(1)空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員。(2)靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠轉(zhuǎn),但場內(nèi)無生產(chǎn)人員。(3)動態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場以規(guī)定的方式工作。2、潔凈室與一般通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,它不僅對室內(nèi)空氣的溫度、濕度、風(fēng)速有一定要求,而且對空氣中的含塵粒數(shù)、細菌濃度等均有較高的要求。因此它不僅對通風(fēng)工程的設(shè)計施工有特殊要求對建筑布局、材料選用、施工工序、建筑做法、水暖電通及工藝本身的設(shè)計、施工均有特殊的要求與相應(yīng)的技術(shù)措施其造價也相應(yīng)提高。潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對室內(nèi)的污染。排風(fēng)柜檢測服務(wù)至上
潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。江蘇生物安全柜檢測優(yōu)化價格
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。江蘇生物安全柜檢測優(yōu)化價格