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    芯片上方的真空吸嘴和頂升頭400同步向上移動，頂升頭400伸出至高出頂壁約2mm左右后，停止上升，緊接著在真空吸嘴繼續(xù)上升的同時，打開與氣管接頭412連接的電磁閥370，向方形凹腔541內(nèi)充氣，從而使得粘性膜對應在凹腔541上的區(qū)域形成向上突起的鼓包，這時，芯片四周邊緣就會與粘性膜分離，隨著凸起越來越高，芯片的邊緣開始脫離，脫離部分越來越多，直到芯片與膜之間只有一小部分粘連，粘力很小，這時再驅(qū)動真空吸嘴將芯片吸走。***，將凹腔541中的氣體排出并驅(qū)動頂升頭400下降并停止真空吸頭抽真空，使整個裝置還原到初始狀態(tài)后通過移動粘性膜使下個芯片與頂升頭400的凹腔541對準，以進行下一輪芯片與膜的剝離。本發(fā)明采用空氣頂針的模式，替換傳統(tǒng)的鋼制頂針，不會有受力集中的問題，能夠?qū)穸葹?00微米以下的芯片進行剝離，而不會損傷芯片，相比現(xiàn)有技術(shù)取得了***的進步。但是，本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應當認識到，以上的實施例*是用說明本發(fā)明，而并非用作為對本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實質(zhì)精神范圍內(nèi)，對以上所述實施例的變化、變型都將落在本發(fā)明的權(quán)利要求書范圍內(nèi)。我司此款機器可以同時測試頂針的荷重-位移-電阻曲線，同時也可以測試頂針的壽命測試。深圳頂針工廠

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