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山東光學(xué)真空鍍膜機

來源: 發(fā)布時間:2021-11-25

【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】 將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發(fā)雜質(zhì)蒸發(fā)來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關(guān)。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關(guān)。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產(chǎn)生副作用。由于加熱的結(jié)果,可能發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒,并同時分解成碳渣。 真空鍍膜機故障維修技巧有哪些?山東光學(xué)真空鍍膜機

【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預(yù)抽閥→關(guān)預(yù)抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關(guān)轟擊→開真空計→當(dāng)真空到6.0~7.0pa時,關(guān)粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當(dāng)真空達到7x10-3pa,開轉(zhuǎn)架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關(guān)閉真空計、離子源→關(guān)精抽閥,前置閥→關(guān)羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復(fù)開始操作。 特別注意: 1.設(shè)備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內(nèi)表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經(jīng)充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機器內(nèi)擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。 4.設(shè)備運行中遇有停電或其它事故發(fā)生,須先停擴散泵,關(guān)精抽閥,前置閥和真空計。 5.產(chǎn)品做完下班后,關(guān)了擴散泵后須待溫度降低至60℃后才能關(guān)維持泵。 山東光學(xué)真空鍍膜機PVD真空鍍膜機的公司。

【真空鍍膜機常見故障之旋片泵故障及處理方法】 1、未做保養(yǎng)導(dǎo)致灰塵太多。真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過程中容易產(chǎn)生da量灰塵,這些灰塵伴隨空氣容易混雜到泵油中,時間久了容易對轉(zhuǎn)子及泵腔造成磨損及破壞。 處理方法:如果灰塵不多,可以油過濾系統(tǒng)除掉灰塵;如果灰塵過多可以用除塵器配合油過濾系統(tǒng)除掉灰塵。 2、旋片式真空泵冒煙和噴油:指旋片式真空泵在運轉(zhuǎn)中排氣口冒煙或者噴油,冒煙。處理方法:冒煙闡明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的狀況。 3、噴油,闡明進氣口外有da量的漏點,以至是進氣口暴露da氣。處理方法:封住泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn),假如不噴油的話,闡明有漏點;排氣閥片損壞,檢查排氣閥片能否損壞,改換壞的排氣閥片。 4、被抽氣體的溫度可能過高。處理方法:降低被抽氣體的溫度,或能夠加一個相應(yīng)的換熱器。 5、配合的間隙改da。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等,形成旋片和定子之間磨損后的間隙增da。處理方法:檢查間隙能否過da,改換新的零部件。 6、泵內(nèi)的油路不通或者不暢,泵腔內(nèi)沒有堅持一定量的油量。處理方法:檢查油路能否暢通,并加同類型的真空泵油。

【真空鍍膜機真空系統(tǒng)檢漏法之真空計檢漏法】 常用的真空計檢漏法主要是熱傳導(dǎo)真空計法與電離真空計法。以熱傳導(dǎo)真空計法為例,它是利用低壓下不同氣體種類的熱傳導(dǎo)能力差異與壓力的關(guān)系來分析真空系統(tǒng)泄漏情況。使用時,要保證被檢系統(tǒng)處于一個壓力不變的動態(tài)平衡狀態(tài),將示漏氣體噴吹于可疑處(也可能用有機溶劑涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏氣體會通過漏孔進入被檢系統(tǒng),因為示漏氣體的熱傳導(dǎo)能力與原系統(tǒng)的氣體成分差異da,會引起明顯的熱傳導(dǎo)性質(zhì)變化,熱傳導(dǎo)真空計的儀表讀數(shù)在原有的平衡基礎(chǔ)上就會發(fā)生波動變化,根據(jù)這些確定漏孔位置并根據(jù)讀數(shù)變化換算漏率da小。相應(yīng)地,電離真空計法利用的即是示漏氣體進入后導(dǎo)致的離子流變化來進行換算。 真空系統(tǒng)檢漏中應(yīng)用真空計檢漏法要考慮示漏氣體種類與真空計的特性的配合,選擇示漏氣體對應(yīng)的特性差異要明顯有別于原有氣體成分,如熱傳導(dǎo)真空計的熱傳導(dǎo)能力、電離真空計的電離電位。其次為便于準(zhǔn)確地觀察前后數(shù)據(jù)變化,要保證被檢前被檢系統(tǒng)壓力處于穩(wěn)定的平衡狀態(tài),測量的真空計規(guī)管也要處于穩(wěn)定的狀態(tài),防止虛假數(shù)據(jù)誤導(dǎo)。同時真空計規(guī)管存在惰性,需要觀察足夠的時間。 真空鍍膜機的升級改造。

【真空鍍膜機有哪些污染源】真空鍍膜機是由許多精密的零部件所組成的,這些零部件均經(jīng)過許多機械加工流程而制作出來,如焊接、磨、車、刨、鏜、銑等工序。正因為有了這些工作,導(dǎo)致設(shè)備零部件表面不可避免地會沾染一些加工帶來的油脂、油垢、金屬屑、焊劑、拋光膏、汗痕等污染物。這些污染物在真空條件下易揮發(fā),從而對設(shè)備的極限真空造成影響。 此外,這些機械加工帶來的真空污染物在da氣壓環(huán)境中吸附da量的氣體,而到了真空狀態(tài)下,這些原先吸附的氣體也會被再次釋放出來,成為限制真空系統(tǒng)的極限真空的一da主要因素。 1、真空規(guī)管的燈絲在高溫條件下蒸發(fā),將導(dǎo)致陶瓷絕緣子上形成一層薄膜,對其絕緣強度有一定的損壞,對其測量的準(zhǔn)確性也有一定的影響; 2、由于高溫蒸發(fā),會使真空中的電子qiang的燈絲附近表面形成一層金屬膜; 3、由于工件濺射,離子束刻蝕設(shè)備的內(nèi)壁會被濺散物所污染; 4、真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的內(nèi)壁會被其蒸鍍靶材材料污染; 5、經(jīng)常使用真空干燥系統(tǒng),該系統(tǒng)會受蒸發(fā)出來的物質(zhì)所污染; 6、真空鍍膜設(shè)備中的擴散泵油、機械泵油等更是一da主要污染來源,鍍膜機長期工作后,設(shè)備內(nèi)部可能會形成一層油膜。 紅外真空鍍膜機制造商。遼寧真空鍍膜機的膜系

真空鍍膜機品牌有很多,你如何選擇?山東光學(xué)真空鍍膜機

【濺鍍工藝的原理】以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等*高,Ti,Mo,Ta,W等*低。一般在0.1-10原子/離子。 離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在10-1—10 Pa真空度,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。 正常輝光放電(glow discharge)的電流密度與陰極物質(zhì)與形狀、氣體種類壓力等有關(guān)。濺鍍時應(yīng)盡可能維持其穩(wěn)定。 任何材料皆可濺射鍍膜,即使高熔點材料也容易濺鍍,但對非導(dǎo)體靶材須以射頻(RF)或脈沖(pulse)濺射;且因?qū)щ娦暂^差,濺鍍功率及速度較低。金屬濺鍍功率可達10W/cm2,非金屬<5W/cm2。 山東光學(xué)真空鍍膜機

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