輪廓儀的技術(shù)原理

被測(cè)表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號(hào)~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測(cè)量技術(shù)：快速靈活、超納米精度、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響

以下來(lái)自網(wǎng)絡(luò)：

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線(xiàn)基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車(chē)制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。

輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物、醫(yī)藥新技術(shù)，微流控器件。三維輪廓儀優(yōu)惠價(jià)格

    超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介:

中組部第十一批“****”****，美國(guó)KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測(cè)量技術(shù)**美國(guó)上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測(cè)量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法，在光測(cè)領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國(guó)專(zhuān)利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng)，國(guó)家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國(guó)。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f(shuō)只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量，除了三維光學(xué)輪廓儀，沒(méi)有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）。 芯片輪廓儀國(guó)內(nèi)代理輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線(xiàn)基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車(chē)制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)）

先進(jìn)的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等 

PI ，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon，干涉物鏡

NI，信號(hào)控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)

VS2012/64位，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)

強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速，結(jié)果實(shí)時(shí)更新

縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測(cè)量閾值，三維處理自動(dòng)標(biāo)注

測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線(xiàn)升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

表面三維微觀形貌測(cè)量的意義

在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

表面三位微觀形貌的此類(lèi)昂方法非常豐富，通常可分為接觸時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。

共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。粗糙度輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。三維輪廓儀優(yōu)惠價(jià)格

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

想要了解更多的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 三維輪廓儀優(yōu)惠價(jià)格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位，交通便利，環(huán)境優(yōu)美，是一家其他型企業(yè)。公司是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，以誠(chéng)信務(wù)實(shí)的創(chuàng)業(yè)精神、專(zhuān)業(yè)的管理團(tuán)隊(duì)、踏實(shí)的職工隊(duì)伍，努力為廣大用戶(hù)提供***的產(chǎn)品。以滿(mǎn)足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿(mǎn)意為標(biāo)準(zhǔn)；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來(lái)，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專(zhuān)業(yè)化路線(xiàn)，得到了廣大客戶(hù)及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。