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基恩士輪廓儀技術(shù)原理

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-11-04

輪廓儀的培訓(xùn)

一、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場(chǎng);

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng);


1.1. 培訓(xùn)對(duì)象

    系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員);

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。


1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等,具體內(nèi)容如下:

    * 系統(tǒng)文檔解讀;

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn)、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式;

    * 系統(tǒng)一般故障排除。





三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率?;魇枯喞獌x技術(shù)原理

強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件


美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換


光機(jī)電一體化軟硬件集成


三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新


縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理


自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注


測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換


三維圖像支持高清打印


菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀


個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)


10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical

Instrument)

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)


岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

二維輪廓儀用途幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。

輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才


15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)


SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測(cè)設(shè)備

唐壽鴻博士,國(guó)家千人****


25年 ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)


KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),***圖像處理、算法**

許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)


10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical

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岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:


表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等)

幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)


白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。


輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:

晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。 反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。(來自網(wǎng)絡(luò))



先進(jìn)的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等 

PI ,納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon,干涉物鏡

NI,信號(hào)控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)


配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息。中芯國(guó)際輪廓儀一級(jí)代理

輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。基恩士輪廓儀技術(shù)原理

NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1):

測(cè)量模式: PSI + VSI + CSI

Z軸測(cè)量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標(biāo)配/500um選配)

10mm 精密電機(jī)拓展掃描

CCD相機(jī): 1920x1200 高速相機(jī)(標(biāo)配)

干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標(biāo)配), 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換: 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦: 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦

照明系統(tǒng): 高 效長(zhǎng)壽白光LED + 濾色鏡片電動(dòng)切換(綠色/藍(lán)色)

傾斜調(diào)節(jié): ±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)

橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(2):

垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s

高度測(cè)量范圍: 0.1nm – 10mm

表面反射率: > 0.5%

測(cè)量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺(tái)階高重復(fù)性:0.15nm(1σ)

VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ,10um臺(tái)階高) 基恩士輪廓儀技術(shù)原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家其他型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是一家有限責(zé)任公司企業(yè),一直“以人為本,服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠守信譽(yù),持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn);以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo),提供***的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來!