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基恩士輪廓儀技術(shù)原理

來源: 發(fā)布時間:2020-11-04

輪廓儀的培訓

一、 培訓承諾

    系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術(shù)資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場;

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng);


1.1. 培訓對象

    系統(tǒng)操作及管理人員(培訓對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員);

    其他業(yè)主指定的相關人員。


1.2. 培訓內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書。

    培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容如下:

    * 系統(tǒng)文檔解讀;

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式;

    * 系統(tǒng)一般故障排除。





三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率?;魇枯喞獌x技術(shù)原理

強大的輪廓儀光電一體軟件


美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換


光機電一體化軟硬件集成


三維分析處理迅速,結(jié)果實時更新


縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理


自主設定測量閾值,三維處理自動標注


測量模式可根據(jù)需求自由切換


三維圖像支持高清打印


菜單式參數(shù)設置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀


個性化軟件應用支持

可進行軟件在線升級和遠程支持服務


10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical

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光學測量、軟件系統(tǒng)


岱美儀器將為您提供全程的服務。

二維輪廓儀用途幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。

輪廓儀的**團隊

夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才


15年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗


SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設備

唐壽鴻博士,國家千人****


25年 ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經(jīng)驗


KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),***圖像處理、算法**

許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)


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岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:


表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)


白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。


輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。 反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。(來自網(wǎng)絡)



先進的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ,納米移動平臺及控制

Nikon,干涉物鏡

NI,信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機


配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息。中芯國際輪廓儀一級代理

輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度?;魇枯喞獌x技術(shù)原理

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標(1):

測量模式: PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標配/500um選配)

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機: 1920x1200 高速相機(標配)

干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標配), 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng): 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)

傾斜調(diào)節(jié): ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率: ≥0.35μm(與所配物鏡有關)

3D測量主要技術(shù)指標(2):

垂直掃描速度: PSI : <10s,VSI/CSI:< 38um/s

高度測量范圍: 0.1nm – 10mm

表面反射率: > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復性:0.15nm(1σ)

VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復性<0.1% (1σ,10um臺階高) 基恩士輪廓儀技術(shù)原理

岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司是一家其他型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。岱美儀器技術(shù)服務是一家有限責任公司企業(yè),一直“以人為本,服務于社會”的經(jīng)營理念;“誠守信譽,持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務將以真誠的服務、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來!