面板廠為補償較低的開口率,多運用在背光模塊搭載較多LED的技術(shù),但此作法的缺點是用電量較高。若運用NIL制程,可確保適當?shù)拈_口率,降低用電量。利用一般曝光設(shè)備也可在玻璃基板上形成偏光膜。然8代曝光設(shè)備一次可形成的圖樣面積較小。若要制造55吋面板,需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程。不僅制程時間長,經(jīng)過多次曝光后,在圖樣間會形成細微的縫隙,無法完整顯示影像。若將NIL技術(shù)應(yīng)用在5代設(shè)備,可一次形成55吋、60吋面板的偏光膜圖樣。在8代基板可制造6片55吋面板,6次的壓印接觸可處理完1片8代基板。南韓業(yè)者表示,在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程,是LCD領(lǐng)域中***一個創(chuàng)新任務(wù)。若加速NIL制程導(dǎo)入LCD生產(chǎn)的時程,偏光膜企業(yè)的營收可能減少。(來自網(wǎng)絡(luò)。SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,同時保留可擴展性和易于維護的特點。安徽納米壓印廠家
IQ Aligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)
■用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用
■用于全場納米壓印應(yīng)用
■三個**控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補償
■粘合對準和紫外線粘合功能
紫外線壓印_紫外線固化
印章
防紫外線基材
附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記
用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián)。
μ-接觸印刷
軟印章
基板上的材料
領(lǐng)取物料,物料轉(zhuǎn)移,刪除印章
大面積納米壓印芯片堆疊應(yīng)用SmartNIL 非常適合對具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)微流控芯片進行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備生產(chǎn)。
EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)
特色:經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),可滿足比較高要求
EVG520 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板,并且與標準的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。
如果需要詳細的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
納米壓印應(yīng)用二:面板尺寸的大面積納米壓印
EVG專有的且經(jīng)過大量證明的SmartNIL技術(shù)的***進展,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實現(xiàn)。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟、高 效的方法,因為它不受光學(xué)系統(tǒng)的限制,并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。
EVG ? 610也可以設(shè)計成紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)。
EVG ® 7200 LA特征:
專有SmartNIL ®技術(shù),提供了****的印跡形大面積
經(jīng)過驗證的技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度和均勻性
多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本
強大且精確可控的處理
與所有市售的壓印材料兼容
EVG ® 7200 LA技術(shù)數(shù)據(jù):
晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)
解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL ®
曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)
對準:可選的光學(xué)對準:≤±15 μm
自動分離:支持的
迷你環(huán)境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持的
EVG系統(tǒng)是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復(fù)制(制造)的***選擇。江蘇納米壓印值得買
EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),擁有多年技術(shù),掌握了NIL,并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。安徽納米壓印廠家
EVG ® 510 HE特征:
用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用
自動化壓花工藝
EVG專有的**對準工藝,用于光學(xué)對準的壓印和壓印
完全由軟件控制的流程執(zhí)行
閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項
外部浮雕和冷卻站
EVG ® 510 HE技術(shù)數(shù)據(jù):
加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米
比較大基板尺寸:150毫米,200毫米
**小基板尺寸:單芯片,100毫米
比較大接觸力:10、20、60 kN
比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C
夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)
150毫米加熱器:EVG ® 610,EVG ® 620,EVG ® 6200
200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,的Smart View ® NT
真空:
標準:0.1毫巴
可選:0.00001 mbar
安徽納米壓印廠家
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè),技術(shù)力量雄厚。公司致力于為客戶提供安全、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù),是一家有限責(zé)任公司企業(yè)。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,提供***的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來!