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EVG620NT納米壓印現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-07-16

EVG ® 620 NT特征:

頂部和底部對(duì)準(zhǔn)能力

高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)

自動(dòng)楔形補(bǔ)償序列

電動(dòng)和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺(tái)式或帶防震花崗巖臺(tái)的單機(jī)版


EVG ® 620 NT附加功能:

鍵對(duì)準(zhǔn)

紅外對(duì)準(zhǔn)

SmartNIL

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)

標(biāo)準(zhǔn)光刻:比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL:比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®:在100毫米范圍

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL

®

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

對(duì)準(zhǔn):

軟NIL:≤±0.5 μm

SmartNIL ®:≤±3微米

自動(dòng)分離:柔紫外線NIL:不支持;SmartNIL

®:支持


工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部:SmartNIL ®:支持


SmartNIL 非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備生產(chǎn)。EVG620NT納米壓印現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

HERCULES NIL 300 mm提供了市場(chǎng)上**的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn),包括用于增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實(shí)(AR / VR)頭戴式耳機(jī)的光學(xué)設(shè)備,3D傳感器,生物醫(yī)學(xué)設(shè)備,納米光子學(xué)和等離激元學(xué)。


HERCULES ® NIL特征:

全自動(dòng)UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺(tái),具有多達(dá)八個(gè)可交換過程模塊(壓印和預(yù)處理)

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,包括3D

適用于高地形(粗糙)表面

*分辨率取決于過程和模板


甘肅納米壓印美元報(bào)價(jià)EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線。

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。


EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達(dá)200毫米

對(duì)于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)


HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案,適用于比較大200 mm的晶圓,是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員。HERCULES

NIL基于模塊化平臺(tái),將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟相結(jié)合。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務(wù)”,將裸露的晶圓裝載到工具中,然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回。

IQ Aligner UV-NIL特征:

用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用

用于全場(chǎng)納米壓印應(yīng)用

三個(gè)**控制的Z軸,可在印模和基材之間實(shí)現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償

三個(gè)**控制的Z軸,用于壓印抗蝕劑的總厚度變化(TTV)控制

利用柔軟的印章進(jìn)行柔軟的UV-NIL工藝

EVG專有的全自動(dòng)浮雕功能

抵抗分配站集成

粘合對(duì)準(zhǔn)和紫外線粘合功能


IQ Aligner UV-NIL技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):150至300毫米

解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:柔軟的UV-NIL,鏡片成型


曝光源:汞光源

對(duì)準(zhǔn):≤±0.5微米

自動(dòng)分離:支持的

前處理:涂層:水坑點(diǎn)膠(可選)

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的


工作印章制作:支持的


EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因?yàn)樗?*小的占位面積提供了***的掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。

EVG ® 7200 LA大面積SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

用于大面積****的共形納米壓印光刻。

EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過量證明的SmartNIL技術(shù),將納米壓印光刻(NIL)縮放為第三代(550 mm x 650 mm)面板尺寸的基板。對(duì)于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì)有效的方法,因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制,并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度。

SmartNIL利用非常強(qiáng)大且可控的加工工藝,提供了低至40 nm *的出色保形壓印結(jié)果。憑借獨(dú)特且經(jīng)過驗(yàn)證的設(shè)備功能(包括****的易用性)以及高水平的工藝專業(yè)知識(shí),EVG通過將納米壓印提升到一個(gè)新的水平來滿足行業(yè)需求。

*分辨率取決于過程和模板 SmartNIL的主要技術(shù)是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結(jié)果。EVG7200納米壓印推薦產(chǎn)品

EVG?770可用于連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù),可進(jìn)行有效的母版制作。EVG620NT納米壓印現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

儀器儀表是用以檢出、測(cè)量、觀察、計(jì)算各種物理量、物質(zhì)成分、物性參數(shù)等的器具或設(shè)備。真空檢漏儀、壓力表、測(cè)長儀、顯微鏡、乘法器等均屬于儀器儀表。近年來,得益于機(jī)械、冶金、石化行業(yè)等儀器儀表服務(wù)領(lǐng)域經(jīng)營狀況的好轉(zhuǎn),我國儀器儀表制造業(yè)發(fā)展一路向好。儀器儀表在工業(yè)生產(chǎn)過程中扮演著重要的角色,用到各種各樣的儀器儀表,如磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)等為工業(yè)的檢驗(yàn)、測(cè)量和計(jì)量提供技術(shù)支撐。中國儀器儀表行業(yè)目前正處于高速發(fā)展階段,需要與之相適應(yīng)的磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】產(chǎn)品營銷模式相互配合。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用,這也使得儀器儀表得到快讀發(fā)展。各行各業(yè)對(duì)儀器儀表的市場(chǎng)需求也在不斷提升,銷售企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量提升。儀器儀表的質(zhì)量、性能關(guān)系到工業(yè)安全,必須重視。EVG620NT納米壓印現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型的公司。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),公司旗下磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務(wù)為理念,秉持誠信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營理念,全力打造公司的重點(diǎn)競爭力。