NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：

測(cè)量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測(cè)量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）

10mm 精密電機(jī)拓展掃描

CCD相機(jī)： 1920x1200 高速相機(jī)（標(biāo)配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動(dòng)切換（綠色/藍(lán)色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測(cè)量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測(cè)量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺(tái)階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺(tái)階高) 測(cè)量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）。材料表面輪廓儀有哪些品牌

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng)， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)  

個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 

更好用戶體驗(yàn)： 迅捷的售后服務(wù)，個(gè)性化應(yīng)用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測(cè)量基準(zhǔn)，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準(zhǔn)確度高，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡(luò)） 江蘇半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。（來自網(wǎng)絡(luò)）

先進(jìn)的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon，干涉物鏡

NI，信號(hào)控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)

VS2012/64位，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量儀器，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線，測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測(cè)量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）。

強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速，結(jié)果實(shí)時(shí)更新

縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測(cè)量閾值，三維處理自動(dòng)標(biāo)注

測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).材料表面輪廓儀有哪些品牌

由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證、基礎(chǔ)科研中，儀器儀表都是必不可少的基礎(chǔ)技術(shù)和裝備重點(diǎn)，除傳統(tǒng)領(lǐng)域的需求外，新興的智能制造、離散自動(dòng)化、生命科學(xué)、新能源、海洋工程、軌道交通等領(lǐng)域也會(huì)產(chǎn)生巨大需求。中國的新型工業(yè)化進(jìn)程，信息化和工業(yè)化融合的進(jìn)一步加深，帶動(dòng)各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域?qū)τ诖庞涗?，半?dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的需求。磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】產(chǎn)品普遍運(yùn)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、交通、科技、環(huán)保、**、文教衛(wèi)生、大家生活等各個(gè)領(lǐng)域，在旺盛市場需求的帶動(dòng)下和我國宏觀調(diào)控政策的引導(dǎo)下，我國儀器儀表行業(yè)的發(fā)展有了長足的進(jìn)步空間。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用，這也使得儀器儀表得到快讀發(fā)展。各行各業(yè)對(duì)儀器儀表的市場需求也在不斷提升，銷售企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量提升。儀器儀表的質(zhì)量、性能關(guān)系到工業(yè)安全，必須重視。材料表面輪廓儀有哪些品牌

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場口碑。公司自成立以來，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié)，公司旗下磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。