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集成電路輪廓儀應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2020-04-07

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強, 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗: 迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持


1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點,達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。集成電路輪廓儀應(yīng)用

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光

垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。


使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強, 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便  

集成電路輪廓儀技術(shù)支持輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件。

如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

測量

1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,標出結(jié)果,并保存、打印。


輪廓的角度處理:  

角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線


輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用

藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測


Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度  

外延片表面缺 陷檢測

硅片外延表面缺 陷檢測

散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)


生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件

微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度


移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級的測量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi),同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。 擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀?

一、準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

二、測量

1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,標出結(jié)果,并保存、打印。


輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm。微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器輪廓儀推薦廠家

包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標準。集成電路輪廓儀應(yīng)用

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢

世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù)

合理的產(chǎn)品價格

24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)

無償產(chǎn)品技術(shù)培訓和應(yīng)用技術(shù)支持

個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)

更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案


非接觸式輪廓儀(光學輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò)) 集成電路輪廓儀應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家其他型類企業(yè),積極探索行業(yè)發(fā)展,努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。公司是一家有限責任公司企業(yè),以誠信務(wù)實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊、踏實的職工隊伍,努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。公司始終堅持客戶需求優(yōu)先的原則,致力于提供高質(zhì)量的磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來!