輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國(guó)物理學(xué)家

曾從事光速的精密測(cè)量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。

1881年，他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度，折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀，邁克爾遜干涉儀。

他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作，進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)，否定了以太de 存在，為愛因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ)。

由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。 包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。湖北輪廓儀售后服務(wù)

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。 PSI輪廓儀其他高精密儀器輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷，表面粗糙度。

NanoX-8000輪廓儀的自動(dòng)化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um，重復(fù)精度

1um

? XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動(dòng)聚焦，0.1um移動(dòng)步進(jìn)

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺(tái)面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息

? 主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè)，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率：

智能化檢測(cè)，全自動(dòng)測(cè)量，檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái)，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力，精確度低的缺點(diǎn)，**提高加工效率。 輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物、醫(yī)藥新技術(shù)，微流控器件。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

表面三維微觀形貌測(cè)量的意義

在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要。通過兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.氮化鎵輪廓儀有哪些應(yīng)用

晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。湖北輪廓儀售后服務(wù)

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù)，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強(qiáng)，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。

 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對(duì)各項(xiàng)2D，3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí)，依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運(yùn)行，其對(duì)精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 湖北輪廓儀售后服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí)，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。在社會(huì)各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務(wù)體驗(yàn)，為客戶成功提供堅(jiān)實(shí)有力的支持。