TS-150支撐面測試:

盡管這些系統(tǒng)幾乎可以在任何支撐面上運行，但采用軟支撐結(jié)構(gòu)共振放大某些建筑物的振動頻率，因此這些振動頻率會降低隔離的。

您可以通過觀察診斷信號來了解支持結(jié)構(gòu)的適用性同時推動支持。 此測試應禁用隔離。 如果支撐是剛性的信號幾乎不應響應任何方向?qū)χ蔚耐苿印?現(xiàn)在嘗試點擊支持激發(fā)其內(nèi)部共鳴。 通常，支架會對水平**產(chǎn)生更強烈的反應而不是垂直的。 一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振，并且隔離將

在這些頻率上受到嚴重影響。 更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。

AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

主動式隔震臺工作機理

主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持比較好的隔振狀態(tài)。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。

（1）實際測量的振動結(jié)果：AVI 主動隔振頻率范圍在 1.0Hz

到 200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。

（2）不同負載下的振動傳遞率：

AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。高頻率范圍內(nèi)，隨著隔振負載增加，隔震效果稍有提升。 隔震器隔振臺應用LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀納米技術(即先進的半導體**相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產(chǎn)), 振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑 制因素。

在納米技術中，為了獲得可靠的結(jié)果，使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動，此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發(fā)展目前的技術和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術。

裝載設備：

掃描電子顯微鏡，如 AFM3D表面分析儀，激光顯微鏡，激光干涉儀，液體表面張力測量系統(tǒng)，顯微硬度測量儀，

醫(yī)療檢測設備等

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，與標準AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋回路中，以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現(xiàn)有的AVI/LP系統(tǒng)中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統(tǒng)上測量的垂直和水平隔離（可傳輸性），其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進行測量，增益設置為128（V）和150（H）。

輸入電壓：115/230V

AC，50-60Hz        功耗：比較大20瓦

頻率范圍：0.2-20Hz       尺寸傳感器：255x245x107mm（長x寬x高）

電源尺寸：265x155x73mm（長x寬x高） 重量傳感器：5.9kg

供電重量：1.6kg                        應用：室內(nèi)

防護等級：IP 20                        溫度范圍 ：5°C-40°C

相對濕度：10–90%（5–30°C）

該表在支持靈敏實驗（例如膜片鉗，顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。

AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz，超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 600-M緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備（例如SEM）時進行任何復雜的操作。

技術指標：

頻率：  1.2-200 Hz

負載范圍：  0-1200公斤

（單件）：  600公斤 Table Stable Ltd：主動隔振以及高 分辨率，高對比度光譜學的全球***。隔震器隔振臺應用

簡單，用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

AVI-400系列（負載：**多800kg）

型號：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP

系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型

主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個LED指示防振狀態(tài)

尺寸：190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重*800kg

單位重量：約13kg；約19公斤，聯(lián)絡我們

電源電壓：95-240VAC，50-60赫茲

耗電量：通常為18W

工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）

可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。 TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司業(yè)務涵蓋磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等，價格合理，品質(zhì)有保證。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力，努力學習行業(yè)知識，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。在社會各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新，不斷鑄造***服務體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持。