輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,計(jì)算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),或放大的實(shí)際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出。(來自網(wǎng)絡(luò)) 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。粗糙度輪廓儀技術(shù)支持
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢
世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)
合理的產(chǎn)品價(jià)格
24小時(shí)到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)
無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持
個(gè)性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持
合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)
更佳的產(chǎn)品性價(jià)比和更優(yōu)解決方案
非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò)) 集成電路輪廓儀技術(shù)原理在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺(tái)式的。
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別
關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀
輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。
關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度
三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運(yùn)動(dòng)速度
**快
如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
我們主要經(jīng)營鍵合機(jī)、光刻機(jī)、輪廓儀,隔振臺(tái)等設(shè)備。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例
測量種類
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基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
?
基板A Sold Mask粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域3D 形貌
?
基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域粗糙度
?
基板A 綠油區(qū)域 pad寬度
?
基板A Trace 3D形貌和尺寸
?
基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快
由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。河南輪廓儀NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。粗糙度輪廓儀技術(shù)支持
輪廓儀的自動(dòng)拼接功能:
條件: 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動(dòng)圖片拼接。
需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接, 輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來。
軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差,自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差,減小誤差。
但是誤差是一定存在的。
白光輪廓儀的典型應(yīng)用:
對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
粗糙度輪廓儀技術(shù)支持
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),各種專業(yè)設(shè)備齊全。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力,多年來一直專注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】的發(fā)展和創(chuàng)新,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。